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また高価な真空装置を用いないため、ローコスト化と高性能化を両立する技術として期待されている。

高速かつ大面積で製造できる上、真空装置を使わないことから省設備化が可能。従来TFT製造に必要なフォトリソグラフィー(露光装置)が不要で、製造にかかわる装置コストを100分の1程度に抑え...

真空装置内で蒸発させた原料を基板上に堆積させる従来の蒸着成膜法に比べて原料の利用効率を高められるため、生産コストを10分の1、寿命も約4倍にできる。真空装置が不要なため、大型照明にも対応できる利点があ...

駆動部分の真空装置を見直し、パッドの吸着力を向上。

流量センサーやマニホールドと組み合わせて流体制御ユニットとし、工業炉や真空装置メーカーに採用を提案する。

航空・宇宙分野や真空装置のほか、食品や鉄道、自動車分野の治具を加工する。

日本板硝子は真空ガラス「スペーシア」の生産体制を強化する。... 日本板硝子ビルディングプロダクツ(千葉県市原市)の生産工場である竜ケ崎センター(茨城県竜ケ崎市)におい...

既存の設備でパターンニングできることから、真空装置を用いるITOのスパッタリング加工よりも製造コストを抑えられる。

携帯端末や太陽電池などの基板に用いるフィルムの成膜・真空蒸着装置向けに提案する。... 真空環境における大気の漏れを検知する装置で、ロータリーポンプを採用。... アウトガスによる到達真空圧力への影響...

【住友重機械工業/真空排気装置2種を出展】 住友重機械工業はクライオポンプ(真空排気装置、写真)の「SICERA(シセラ)」と「SIGNET...

【難易度高いろう付け技術/ナイス】 ナイス(兵庫県尼崎市)は真空部品や半導体製造装置部品の接合に適した真空ろう付け技術を紹介する。... 【補助ポンプで排気...

真空技術の最先端を紹介する「VACUUM2013―真空展」(日本真空工業会と日本真空学会主催、日刊工業新聞社共催)が、11月6―8日に東京・有明の東京ビッグサイトで開かれる。... こ...

同社製の吸着ツールは、真空装置を使わないため、配線などが不要。

「顧客の希望通りのモノを作るには、製缶・板金・機械加工が不可欠で、この3部門がそろっていることが強み」と、真空装置関連部品のメーカーとして蓄積してきた技術に自信をみせる。

真空装置内で蒸発させた原料を基板上に堆積させる蒸着成膜法に比べて生産コストを最大10分の1に低減。... 大型化が困難な真空装置が不要なため、大型照明にも対応できる。

高真空に対応した真空ポンプを3種開発し、低真空から高真空までをラインアップした。... 装置の単体売りから脱却し、自動車向けガラスコーティングシステムなどの新規分野を開拓する。... 一般的に真空装置...

精密機械や真空装置向け部品を手掛ける電装精機(大阪府守口市)は、20年超ぶりの更新に踏み切る。... 従来機よりも大型の設備を導入することで、主力の半導体装置の試作用ウエハーの大径化に...

主力は半導体や液晶テレビの生産工程で使う真空装置の中心部品「大型真空チャンバー」。

だが、インジウムが希少金属である上、真空装置が必要なため、コストがかさむ。

産業技術総合研究所は3日、900度Cまで加熱できる小型の超高真空装置を開発したと発表した。... 相浦義弘酸化物デバイスグループ長、阪東寛上級主任研究員らが、理工貿易(東京都三鷹市、宮田耕進社...

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