ウエハーの洗浄やエッチングに利用する薬液の処理について、三和油化工業の柳均社長は「年間1万トンから始め、近い将来4―5万トン程度にまで高めたい」と意欲を見せた。

同拠点は化合物半導体デバイスをはじめとした電子部品の量産に適したエッチング装置などの開発を担う。

特にエッチング加工のプロセスで採用され、ドライエッチング中のプラズマによる入熱に対してウエハー温度を一定に制御する役割を担う。SMCはエッチング加工向けのチラー販売において、米ATSと並びトップクラス...

超純過水と超純安水は、主に半導体のウエハーやデバイスの製造工程で洗浄剤やエッチング剤などに使用される。

結晶成長や成膜、エッチングなどを数百工程繰り返して製造するなど、「製造プロセスでさまざまな工夫をしている」(同社)のが強みだ。

フッ化水素酸は半導体シリコン基板の洗浄やエッチングに欠かせないが毒性が強く、扱いは難しい。

さらに「さまさまな金属を凹ませるエッチング加工を手がけている。

伊勢原工場と宮田工場で、成膜装置やエッチング装置などの半導体製造装置の均一な加熱や冷却を可能にするヒーターや冷却板、ガスの散布に必要なシャワーヘッドといった重要部品を生産している。

半導体回路を形成するエッチング装置に使う静電チャックなどの外周の面取り加工向けに提案する。 ... 主なワークはエッチング装置に使う静電チャック、フォーカスリング、シャワープレートを...

接合処理などの前工程を手がける愛知県小牧市の工場と、エッチングやメッキ処理を手がける後工程を担うマレーシア・ペナン州と山口県美祢市の工場の計3工場を増強する。

研究開発用に配線を施したり、エッチングで微小電気機械システム(MEMS)のベースをつくったりするニーズもある。... 電子部は、多品種の材料を扱う商社機能と、薄膜形成からエッチングまで...

エッチングや成膜工程など半導体製造工程に不可欠なガスの生産体制を構築し、欧州地域での供給能力を強化する。

通常は脱脂やエッチング、水洗など10―20以上の前処理工程が必要だった。

また現時点では、エッチングで回路形成する工程のほうが、抵抗値は低いとされる。

アルミ合金とPPS複合材の接合面は、凹凸のエッチング処理でかみ合わせて一体化した。アルミは軽量・低コストの金属で、エッチング処理も施しやすい。

また半導体用途としては、配管・封止材やフィルター、そしてエッチングガスなどが挙げられる。エッチングは露光などと並んで半導体製造の最重要工程の一つであり、また封止材や配管にはクリーン度に加え、耐薬品特性...

大阪大学の山内和人教授らが考案した触媒基準エッチング(CARE)法により、炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)の基板を原子レベルで平坦化する装置...

同大にはリソグラフィーからエッチング、薄膜形成などの各種装置群がそろう。

1962年に金属ネームプレート製造を始め、アルミニウムや真ちゅう、ステンレス板にエッチングを施す技術を磨いてきた。... オイルショック時に、日本のロケット開発の父といわれる糸川英夫博士の講演で「逆転...

レーザーテックは、生成人工知能(AI)でデータを高速処理する広帯域メモリー(HBM)向けに、高密度配線に欠かせない小径シリコン貫通電極(TS...