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記事検索結果
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特にエッチング加工のプロセスで採用され、ドライエッチング中のプラズマによる入熱に対してウエハー温度を一定に制御する役割を担う。SMCはエッチング加工向けのチラー販売において、米ATSと並びトップクラス...
半導体の基本、日本半導体製造装置協会(SEAJ)が定める安全教育などの座学と、模擬クリーンルームや前工程用のドライエッチング装置などで実機研修する。
同技術に関する論文が、11月に開かれた半導体関連の国際学会「第43回ドライプロセス国際シンポジウム」の講演の演題として採択された。ドライエッチングなどの半導体製造技術の研究発表が中心となる同会合で、チ...
これに、半導体加工技術のフォトリソグラフィーとドライエッチングにより微細加工し、p型、n型の熱半導体が金属電極を介しつながる「π接合」を持つ平面π型熱電素子を作製した。
半導体製造でドライエッチングに使うとシリコンウエハーの処理能力が飛躍的に向上する。
オプトラン/スマホ向け原子層堆積装置 オプトランはスマートフォンやミニ・マイクロLED(発光ダイオード)向けの原子層堆積...
ガスによるドライエッチングで微小共振器を形成し、薬液を使って結晶面の3次元形状を作る異方性ウェットエッチングで側壁の平たん性と垂直性を向上した。
ダイキン工業は韓国・忠清南道に半導体製造用のフッ素系エッチングガスの新工場を建設し、2022年10月をめどに稼働する。... 新工場で生産するエッチングガスは、ドライエッチングと呼ばれる半導体の製造工...
サムコは窒化ガリウム(GaN)などの化合物半導体デバイスの中規模量産に対応した化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置の提案を始めた。... 20年7月期はCV...
確立した技術はシリコンのドライエッチングや薄膜形成、洗浄などで使う。... 専用装置用に開発した電極を用いたプロト装置を使い、窒素ガスを照射してガラス基板にエッチングしたところ、1分で40ナノメートル...
名古屋大学などは13―15日に名古屋市千種区の名大豊田講堂ホールで、ドライエッチングを中心とするプラズマ関連の学会「ドライプロセス国際シンポジウム」を開く。... プラズマ堆積・エッチング技術など工学...
東京エレクトロンは、従来機に比べて薄型ディスプレー(FPD)の微細加工に使うプラズマのエネルギー効率を20%向上したドライエッチング装置「Impressio(インプレッ...
ドライ洗浄装置向けで培ってきた「水蒸気プラズマ」技術を、チップ加工や滅菌に生かす考えだ。... またドライエッチング技術を生かし、マイクロ流路チップの加工も手がけている」 ―もう一つ...
【立川】ワイエイシイホールディングス(HD)は、第6世代フラット・パネル・ディスプレー(FPD)向けドライエッチング装置の生産能力を最大2倍に高める。... ワイエイシ...
プロセスチャンバー最大5基搭載 東京エレクトロンは、ガスやプラズマを使って薄膜を加工するフラット・パネル・ディスプレー(FPD)製造装置...
東京工場では、主にシリコンウエハーをドライエッチングする工程で用いる装置の部品に溶射加工を手がけている。
