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記事検索結果
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露光装置、異常予兆を解析 キヤノンは露光装置から生み出されるデータを活用し、半導体製造の生産性を高めるサービス「リソグラフィプラス」を展開する。... リソグラフ...
搭載するモジュールの小型化に対応するため、写真製版技術(フォトリソグラフィー技術)による加工で縦2・0ミリ×横1・6ミリ×高さ0・7ミリメートルと業界最小クラスを実...
キヤノンは5日、半導体露光装置のサポート業務を効率化するサービス「リソグラフィ プラス」の提供を同日始めたと発表した。
フォトリソグラフィー技術を応用するなどして、同GTカット水晶片の量産に成功した。マイナス40度C―プラス200度Cの幅広い温度領域内で、高い周波数精度を確保できる。
動作できる温度範囲はマイナス30度―プラス85度C。 日本電波工業はフォトリソグラフィー技術や応力解析シミュレーションを用いて、耐振動性能に優れた新しい発振器を開発した。 &...
【神戸】兵庫県立大学の原田哲男助教らの研究グループは、次世代半導体での量産適用が有望視される極端紫外線(EUV)リソグラフィー(露光)のフォトマスク評価に使う顕微鏡を開...
独自の画像処理技術や位置制御技術により、ひずみのあるフィルム基材上で吐き出し位置精度でプラスマイナス5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)を持たせた。... インクジェット方式...
半面、情報端末の小型化をプラスに高機能材料が採用される事例も出てきた。... こうした工程に必要な日立化成工業の半導体用研磨材料に加え、JSRや信越化学工業が高いシェアを持つリソグラフィー関連材料の受...
スクリーン印刷は、微細回路形成で主流のフォトリソグラフィー法に比べて低コストで破棄材料も少ないが、狭ピッチ化が課題だった。... 400ミリ×320ミリメートルの場合で、寸法精度はプラスマイ...
特に露光光源に極端紫外線(EUV)光源を使う最新リソグラフィー技術用素材などが注目されている。... JSRはEUV露光でフォーカスがマイナス120ナノ―プラス120ナノメートルの範囲...