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インタビュー/キヤノン専務・武石洋明氏 半導体露光装置が好調 (2024/9/12 電機・電子部品・情報・通信2)

「露光装置のデータを使ったサービスである『リソグラフィプラス』を提供している。

露光装置、異常予兆を解析 キヤノンは露光装置から生み出されるデータを活用し、半導体製造の生産性を高めるサービス「リソグラフィプラス」を展開する。... リソグラフ...

露光装置の稼働率向上 キヤノン、サポート効率化サービス提供 (2022/9/6 電機・電子部品・情報・通信1)

キヤノンは5日、半導体露光装置のサポート業務を効率化するサービス「リソグラフィ プラス」の提供を同日始めたと発表した。

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