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ちょっと訪問/東邦鋼機製作所 基板平坦化で次世代装置 （2024/2/8 電機・電子部品・情報・通信１）
東邦鋼機製作所は半導体基板の表面を平坦化する工程で使用する装置を手がける。2000年から同工程で主流の化学的機械研磨(CMP)パッド加工装置の製造販売を開始し、その...
東邦鋼機、窒化アルミテンプレート開発 高効率・低コスト実現 （2023/12/6 電機・電子部品・情報・通信２）
【津】東邦鋼機製作所(三重県四日市市、鈴木英資社長)は、三重大学と共同で開発したサファイア基板上窒化アルミニウム(AlN)テンプレートを発売した。... 三重大学大学院...
【おくやみ】鈴木辰良氏(東邦鋼機製作所社長) （2018/12/17 総合２）
鈴木辰良氏(90歳、すずき・たつよし=東邦鋼機製作所社長)14日老衰のため死去。... 喪主は長男で同社取締役兼東邦エンジニアリング社長の辰俊(たつとし)氏。&...
