立ち上がりから立ち下がりまでの全制御流量域で0・1秒以下の高速応答を実現。... 従来品の制御範囲の下限値と比べて約8倍の小流量制御が可能という。微小な流量制御が歩留まりを左右する先端メモリープロセス...

同社の最新機種に搭載している冷却水や冷温水の変流量制御、省エネ運転モード、始動時間短縮制御といった各種省エネ技術も標準で搭載。

バルブ部は不純物(コンタミ)残留がない独自構造で、流れの遮断と流量制御の役割を担うため、装置の設計自由度も高い。... バルブ開度を無段階制御できるソレノイドアクチュエーターにより、毎...

マスフローコントローラー(MFC)はガスや液体の流量を制御する機器で、半導体製造プロセスでは欠かせない存在だ。... ガス流量制御や液体気化技術の高度化、次世代技術の強化を進める。

バルブ開度に独自アルゴリズム 【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は半導体製造向けに、従来より安定した流量制御が行える新型マスフローコントローラー(...

【フジキン/ガス流量デジタル制御機器】 フジキン(大阪市北区)は、ガスの流量制御機器「FCS―T1000F=写真」を出展する。....

毎分300リットル大流量制御可能 SMCはリニアモーターによるバルブ駆動を採用した流量制御装置を開発し、発売した。... 顧客ニーズが高い乾燥空気と窒素ガスを流量...

(最終面に「深層断面」) 液化CO2の流量を制御する電動アクチュエーターを展示したのは英ロトルク。「CCUSのプロセスには流量制御が集中的に使われている」と担当者は説...

13年に開設した同拠点を拡張し、コア技術であるガス流量制御や液体気化技術の高度化、次世代技術の強化を図る。

JAXAが研究開発した「ホールスラスタシステム」の技術ライセンスをもとに、ネッツがスラスタユニット(THU)と流量制御ユニット(FCU)、高橋電機製作所が電力制御ユニッ...

【富士機工/段取り効率化、長尺対応ボール盤】 富士機工(東京都武蔵村山市)は、長尺材料に穴開けする際の位置決めを数値制御(NC)で正確に行え...

ディスコやダルトンなど大型装置を披露するメーカーがあるほか、日本が強みとする流量制御、ポンプ、バルブ、直動などの部品も性能が上がっている。

【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は、半導体洗浄装置を主ターゲットに業界初のシールレス構造で、パーティクル(微小異物)残留も...

型締め・押し出しなどの制御を最適化することで消費電力を従来比25%削減できる。... 油圧ポンプモーターの回転速度を制御し、稼働状態に合わせて油圧ポンプの吐出量を可変。型締めや押し出しの圧力制...

小型・軽量・高出力で、流量制御技術により柔軟にカスタマイズ(個別対応)が可能。... 最大流量は毎分50リットル、最大揚程22メートル。... ポンプ本体に駆動回路を内蔵し外部入力信号...

開発したシステムはコスト抑制のため既存のTIG溶接電源に独自トーチとガス流量制御装置を組み込んだ。

そのため各種ガスを流量制御する多数のバルブのダイヤフラムの機能など、開閉状態を従来以上に正確に把握する必要がある。

比例電磁弁は電気の力でバルブを制御でき、多様な機器で使われる。... 同社の中国でのノックダウンは19年開始の一般産業機器向けマスフローコントローラー(流量制御機器)に次いで2製品目。

【京都】堀場製作所は16日、中国・北京市の拠点でマスフローコントローラー(流量制御機器)を増産し、2025年までに同拠点の生産能力を現状比約3倍の年10万...

半導体関連事業で主力の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(ガス流量制御機器)で従来品比8倍の超高速応答の新製品を、露光工程向けで高精度なレティクル・マスク異物検査装置の新製品を...