記事検索結果

アズビル、校正の認定範囲拡大（2023/10/23 機械・ロボット・航空機２）

アズビルは計量法校正事業者登録制度(JCSS)の校正事業者として、新たに流量・流速(気体用流量計)の登録・認定を取得したほか、登録・認定済みの圧力(真空計...

実際、MEMS技術を活用したサファイア隔膜真空計の新製品を1月25日に発売するなど、新実験棟から新たな成果が出ている。 ... その象徴が真空の校正だ。...

アズビル、サファイア隔膜真空計に新モデル MEMS技術でデポ対策強化（2023/1/26 機械・ロボット・航空機２）

アズビルは微小電気機械システム(MEMS)加工技術を用いて半導体プロセスの「デポ」と呼ばれる現象の対策を強化したサファイア隔膜真空計「形 V8=写真...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) （2022/10/4 機械・ロボット・航空機２）

【アルバック/真空装置プロセス管理】アルバックは「ピラニ真空計SW100」を出展する。... 真空装置のプロセス管理に貢献する。 &...

堀場、半導体製造用真空計高温域で安定計測（2020/12/15 機械・ロボット・航空機１）

【京都】堀場製作所は半導体製造ライン向けの静電容量型隔膜真空計で高温環境対応の新製品「VG―500=写真」を発売した。成膜やエッチング工程などで真空度を測る装置。

キヤノンアネルバ、半導体成膜装置向け隔膜真空計‐微細加工プロセスに対応（2016/3/18 電機・電子部品・情報・通信２）

キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計「キャパシタンスゲージ=写真」の新製品を発売した。 ...

2015真空展、関連機器の出展目立つ（2015/9/10）

真空計の測定精度など基本性能の向上はもちろん、関連機器の需要拡大を見込んだ出展も目立った。 ◇ キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は2016年初頭に発...

同社にとって初の半導体成膜装置向け隔膜真空計。... キヤノンアネルバの隔膜真空計の新製品は、0・5―133パスカルの高真空領域の測定に対応する。... 半導体成膜装置向けに参入し、隔膜真空計事業を伸...

VACUUM2014 真空展、開幕−基本性能高めた最先端技術紹介（2014/10/16）

最先端の真空技術を紹介する「VACUUM2014 真空展」(日本真空工業会と日本真空学会主催、日刊工業新聞社共催)が15日、東京・有明の東京ビッグサイトで開幕し、出展各社が自社...

真空展・紙上プレビュー(2)日立造船ほか（2014/10/8）

【キヤノンアネルバ/隔膜真空計の新製品をPR】キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、044・980・5111)は、自社の真空技術関連製品をフルラインアップで展示...

キヤノンアネルバ、半導体成膜装置向け隔膜真空計事業に参入（2014/10/6）

キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計事業に参入する。... 隔膜真空計市場のうち成膜装置向けは全体の約半...

真空展2013・紙上プレビュー(8)インフィコンほか（2013/11/5）

【キヤノンアネルバ/ゼロ点ズレ減少隔膜真空計】キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は隔膜真空計や小型ガス分析システムなどを出展する。隔膜真空計「キャパシタンス...

真空展2013・紙上プレビュー(4)住友重機械工業ほか（2013/10/28）

真空リザーバータンクと既設の真空チャンバーを連通することで、真空ポンプのアイドリング(待機)中は自動的にリザーバータンクを排気。... 【大亜真空/パソコンで管理圧力測定に対...

大亜真空、トランスデューサー対応の真空計3種追加（2013/10/1）

【千葉】大亜真空(千葉県八千代市、横山徹社長、047・459・5311)は、真空計『TRシリーズ』に、コールドカソード真空計「TRC―10=写真」、熱陰極電離真空計「TRI―1...