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材料進化の最前線 NIMS未来戦略(20)CNT分子接合 量子デバイス 室温で動... （2024/2/28 科学技術・大学）
MEMS共振器は自動車や家電、ヘルスケア、環境モニタリングなど、幅広い用途のセンサーとして応用されており、これまでも小型化による省電力化や低コスト化が図られてきた。 ...
NTT、MEMS技術を利用したフォノニック結晶を作製−弾性振動を電気制御 （2014/6/16）
円形の薄膜振動部を持つMEMS共振器を100個一列に並べたフォノニック結晶導波路を構成。この導波路中に、電極を設けた制御用のMEMS共振器を組み込んだ構造を作製した。電極に電圧を加えることで発生するM...
パナソニックとIMEC、共振特性高く低電圧駆動のMEMS共振器 （2010/12/7）
パナソニックとベルギーの研究機関のIMECは、共振器に必要な特性のQ値が22万と業界最高で低電圧駆動の微小電気機械システム(MEMS)共振器を開発した。... また、Q値は共振の鋭さを...
