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精密工学会、7月に微細加工講習 (2023/4/10 機械・ロボット・航空機2)

精密工学会は7月21日10時から、かわさき新産業創造センター(川崎市幸区)で第431回講習会「精密工学からものづくりを考える―MEMS/NEMS・ミリマシン―」を開く。

超小型アクチュエーターといったナノ電気機械システム(NEMS)への電力供給や、生体埋め込み型バイオセンサー、高感度の温度・圧力センサーなどの電力供給源に応用できる可能性があるとしている...

アンリツ、23年度に売上高1000億円 計測事業、5G取り込む (2021/4/30 機械・ロボット・航空機)

第6世代通信(6G)や超微小電気機械システム(NEMS)の基礎研究にも着手した。

大阪大学産業科学研究所の田中秀和教授とイタリア・ジェノバ大学物理学科のダニエル・マーレ教授らは、機能性酸化物セラミックスを使用したNEMS(超微小電気機械システム)高周波アクチュエータ...

宮城県松島町で開催中のナノテクノロジーに関する国際会議(IEEE―NEMS)で19日に発表する。

MEMSやNEMSといった微小電気機械システムを使う既存のナノモーターは、その多くが数十マイクロメートル(マイクロは100万分の1)程度のサイズにとどまる。

光の増幅作用によって単色性の高い光を自発的に発生するレーザーの原理と、微小電気機械システム(MEMS)や、MEMSをさらに微細化したNEMSの技術を生かした。

ナノ機械は、マイクロメートル(マイクロは100万分の1)領域の微小電気機械システム(MEMS)のナノ版で、NEMSと呼ばれる。

ネオシリコンの応用で実用化が近いのが、ナノ寸法の微小電気機械システム(MEMS)である「NEMS」とナノ結晶シリコンを融合したハイブリッド素子だ。

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