機械設計８月特別増大号／精密位置決め技術の最新動向と有効活用のポイント

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１０日に発売する日刊工業新聞社発行の月刊誌「機械設計」８月特別増大号では、「精密位置決め技術の最新動向と有効活用のポイント」を特集する。

精密位置決め技術は、アクチュエーター、案内要素、制御技術など、幅広い分野の機械・電子技術の集大成と言われる。近年は活況を呈する工作機械やロボット、半導体製造装置などの分野で、高精度化、高速化への要求が高まっており、新たな技術の適用が模索されている。

一方、これに伴って、振動や発熱対策も従来と異なるアプローチが必要になってくる。特集では半導体露光装置のステージを例に対策の考え方と事例を取り上げる。このほか、超精密微細加工機における要素技術、リニアボールガイドを用いたナノメータ輪郭制御、位置決め機構のための精密制御系の構成と効果、センサー活用、静圧ガイドや送りネジを用いた位置決め機構の設計といったテーマも取り上げる。

本特集では、このような最近の精密位置決め技術のトレンドと活用のポイントを解説するとともに装置に使用されるモーターや減速機をはじめとした位置決めに関する機械要素の最新技術を紹介する。