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記事検索結果
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EUVは光源の出力不足を解消できず、フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)の延命で対応してきた。
新アトマイズ法とは、レビテーション炉と呼ぶ水冷銅ルツボの中で金属を半浮遊で溶解した後、アルゴンガスを噴霧して粉末にするレビアトマイズのこと。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
ASUは空気をコールドボックス(保冷外槽)で冷却し、マイナス180度Cの極低温状態で蒸留して酸素と窒素、アルゴンに分離する装置。... 2基合計で酸素が毎時4万ノルマル立方メートル、窒...
1時間当たりの生産能力は酸素ガス3万5000立方メートル、窒素ガス2万1000立方メートル、アルゴンガス1300立方メートル。... 新日鉄住金の製鉄所向けにガス供給を担うとともに、アルゴンガスでは国...
2017年をめどにバーノン市の既存工場(写真)に立ち上げ、鉄鋼やエレクトロニクス、食品産業などに酸素や窒素、アルゴンを供給する。
G450Cは、450ミリメートルウエハーによる半導体製造の実用化を目指して活動しており、ニコンは2013年に先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注し、スケジュール通りに出荷し...
豪州では年内にアクチェAGL、アルゴン、レッドエナジーの電力小売り3社と共同で、顧客世帯に設置した蓄電池の充放電の遠隔制御などの実証実験を始める。
新工場ではフッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザーやフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー向けフォトレジストを生産する見通し。
(山形県上山市) 【福島熔材工業所社長・渋谷修一氏「太いアンカーボルトに変更」】 (1)震災前から溶接で使用する酸素やアルゴンガスの...
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザーの最新モデル「GT64A...
ニコンは微細加工能力と生産性を高めたフッ化アルゴン(ArF)半導体露光装置「NSR―S322F=写真」を、12月に発売すると26日発表した。
ICP発光分析装置は約7000度Cのアルゴンガスによる誘導結合プラズマを利用して元素を分析する。このアルゴンガスの流量や使用電力を待機時に従来の半分に抑える機能を搭載したのが特徴。 ...
