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記事検索結果
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敷地内のクリーンルーム施設には50億円するとされるフッ化アルゴン(ArF)液浸方式の露光装置をはじめ、製品開発や品質検査に使う各種の先端設備がズラリと並ぶ。
自動車ボディー用コーティング剤の原料となる薬品は水分と反応しやすく、神戸合成では従来、計量・調合や充填工程をグローブボックス内にアルゴンガスを注入してドライ化する手作業で行っていた。
従来と同じアルゴン・フッ素(ArF)液浸露光技術とレジストを用いながら、大きさのバラつきを増やさず、保護膜形成プロセスに酸化プラズマ処理を利用した。
大陽日酸は常圧のアルゴンガス雰囲気中で、溶解ロウのぬれ性を阻害する窒素と酸素の濃度を制御することで品質低下を抑える技術を開発した。
内部に水銀とアルゴンのガスが充填(じゅうてん)してあり、電子レンジと同じ2・45ギガヘルツのマイクロ波を照射すると、殺菌効果や化学結合を切断する波長の光を発する。
05年6月に発売した赤外線ランプヒーター「ピュアタンヒーター」(純炭素質発熱体)は、石英ガラス管内にアルゴンガスなどの不活性ガスとともに炭素質99・8%、赤外線放射率85...
その手段としてスパーク放電、直流アーク放電、グロー放電などを用いるが、一般的にはアルゴンガス雰囲気でのスパーク放電が多い。
次世代技術の極端紫外線(EUV)リソグラフィーの普及が遠のく中、既存のフッ化アルゴン(ARF)液浸リソグラフィー工程を2回以上繰り返すマルチパターニングを使い、20ナノ...
大陽日酸は(空気から窒素、酸素、アルゴンを分離する)空気分離装置を北米に17基持つなど、米国とアジアに過去9年間、2000億円超の投資を行っている。
