大気圧プラズマ装置は使用するアルゴンガスが高価で処理費用が割高になる。

電圧をかけた2枚の電極の間に、アルゴンやヘリウムなどのガスを流すと、ガスがプラズマ化する。... 【最適条件を発見】 今までも大気圧下でプラズマ生成は可能だったが、ヘリウムやアルゴン...

既存のフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にする装置で回路線幅の微細化を進めながら、EUVの量産適用を模索する。

ここに溶射機2台をはじめアルゴン溶接機、レーザー溶接機、半自動溶接機各1台などの設備を導入し、主に自動車部品向けアルミダイカスト用金型や熱間鍛造用金型の補修作業を行う。

溶接時のアルゴンガスは最小限の流量が良好な品質に適することも分かった」と、成果を説明している。

【仙台】東北大学流体科学研究所の西山秀哉教授らのグループは、液体中のアルゴンガスの気泡に放電することで、液体中で溶けにくい「難溶解性物質」を効率的に分解する技術を開発した。... アルゴンガスの気泡を...

アルゴンガスと水素ガスを使用できる新開発の処理炉を導入したことで、ネオジム磁石やほかの磁性材料の処理も可能になった。

装置は対向するターゲット間に直流の強電場、強磁場をかけ、その中にアルゴンガスを直接導入しアルゴンの高密度プラズマを発生させてターゲット材をスパッタリングする。

アルゴンは休日、夜間、平日とも同110立方メートルを生産する。

箱内にアルゴンガスを満たして、空気を外に放出する。

しかし、溶接で使うアルゴンガスなどを扱う仕入れ先や物流関連の企業が、福島第一原子力発電所の事故を受けて運送を見合わせるなど、製品の出荷や工場の復旧作業に支障が出ている。

溶接用のアルゴンガスやレーザー加工機用の液化窒素などは卸業者に在庫があれば取りに行くなどして対応している。

JSRは2日、半導体製造工程で、1回のフッ化アルゴン(ArF)光源露光で回路線幅(ハーフピッチ)20ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の微細加工を行...

膜材粒子をプラズマ放電でイオン化し、窒素やアルゴンなどと反応させて金属化合物を生成する。

半導体製造で現在主流であるフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にした液浸リソグラフィー技術を適用するため、半導体メーカーは大規模な設備投資をせずに集積度を高めたLSIの生産が...

国内製造業向けに窒素ガスオンサイト供給、各種液化ガス(酸素、窒素、アルゴンなど)の販売、ガス供給設備のメンテナンスを手がけている。

通常のDLCの原料ガスはアルゴンやアセチレン、水素を使う。

アルゴンガス環境下で、Gdなどの金属を混ぜた数マイクロメートル(マイクロは100万分の1)径の炭素微粒子を、局所的に8000―1万度Cになる直流式のプラズマであらかじめ溶かす。

EUVは波長13・5ナノメートル(ナノは10億分の1)で、フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にするのが現在主流の露光装置の10分の1以下。

これを実現する露光技術がEUVで、現在主流になっているフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源とする先端露光装置を置き換えていくと見られている。