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従来の可視光による表面検査に加え、可視光では検査が難しかったウエハーキャップ構造の微小電気機械システム(MEMS)センサーの内部欠陥などの検査が可能。

医療分野との接点が生まれたからといって、オーダーメードの産業機械の開発、製造に携わる当社が一気に医療分野に事業の軸足を移すつもりもない。... 半導体は微細化の限界と並行する形で多様性を追求しているが...

立体構造を持つ微小電気機械システム(MEMS)基板などへ均一性の高いレジスト塗布を可能としたのが特徴。

微小電気機械システム(MEMS)でシャッターを開閉してバックライトの光を制御する。

フィガロ技研(大阪府箕面市、天本太郎社長、072・728・2560)は、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いた小型で消費電力が低い半導体式ガスセンサー(写...

また、ナノ粒子表面を非常に清浄な状態で基板上に堆積できるので、ナノ粒子の物性研究やナノ粒子としての特性を生かした触媒、電池などの分野への展開のほか、MEMS(微小電気機械システム)やコ...

新センサーモジュールは微小電気機械システム(MEMS)技術を採用。... 地震動のような100ヘルツまでの低周波振動領域ではサーボ式センサーを用いるが、製品やシステムに採用した場合、数...

その一つが微小電気機械システム(MEMS)を使用したディスポーザブル医療機器だ。

【横浜市立大学大学院生命ナノシステム科学研究科准教授 小島伸彦氏】 細胞を操作して立体組織を構築する研究に取り組んでいる。... 例えば肝臓は肝細胞が層状に並び、血管の微小な...

ターゲットは多品種少量生産の半導体で、原グループ長は「あらゆる電気機器が対象になり市場は広大」と指摘する。... 産総研の開発ロードマップでは、14年度内にディスクリート(個別半導体)...

微小電気機械システム(MEMS)は今、新たな電源として脚光を浴びている。... 国際電気標準会議(IEC)でMEMSを扱う分科委員会(SC)47Fの国際...

微小電気機械システム(MEMS)製品やバイオデバイスなどに向く。

【京都】ロームは薄膜圧電素子を用いた微小電気機械システム(MEMS)加工のファンドリー(製造受託)ビジネスに参入する。

同社は米シリコンバレーの研究拠点でも、微小電気機械システム(MEMS)加工を応用したヘルスケア関連の研究開発を行っている。

大研医器はドイツのフラウンホーファー研究機構と、微小電気機械システム(MEMS)を用いたディスポーザブル(使い捨て)型医療機器の開発で共同研究契約を結んだ。

フクダ(東京都練馬区、小林亘社長、03・3577・1111)は、測定精度を同社従来機比10万倍に高めた気密性検査装置「ウルトラファインリークテストシステム MUH―0100&#...

ホンダジェットやMRJの脚部システムなどの受注に関わってきた。世界に認知される脚システムメーカーを目指す。... 住友精密でも微小電気機械システム(MEMS)、半導体の技術開発に従事、...

電気自動車(EV)のワイヤレス給電などでも活用できる。 ... 増幅器や温度特性に対応する磁石を微小電気機械システム(MEMS)で組み込んだ。 ...

産業技術総合研究所の集積マイクロシステム研究センター大規模インテグレーション研究チームの倉島優一研究員と高木秀樹研究チーム長は26日、常温の大気中で金属を接合する技術を開発したと発表した。微小電気機械...

気密検査装置は水晶発振子や微小電気機械システム(MEMS)などの部品に密閉しているガスのリーク量を検出する。

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