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記事検索結果
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工作機械でアルミニウムのワークを削り出す真空チャンバーといった装置部品も大型化しており、新型機では最大直径1250ミリ×高さ1000ミリメートルの大物ワークの加工に対応した。 ...
約13カ月の分析を経て、20年5月からチャンバー本体や内部で試料容器を置く可動テーブルの精密洗浄を開始。8月にはチャンバー内で試料を移動させる治具や試料容器の精密洗浄と化学研磨を実施した。
宇宙用途に適した機械的特性や熱伝導を調整することで、ロケットチャンバーといった大型で複雑な形状の銅製部品への適用が期待されている。
そこでAPIMSを使って、クリーンチャンバーに供給するガスやチャンバー内のガスを高感度に測定管理するシステムを導入した。
パナソニックコネクトは同社製プラズマクリーナーのチャンバー内の状態変化を数値化し、最適なメンテナンスを実現するソフトウエアの受注を始めた。
同大の電子線形加速器駆動パルス中性子ビーム利用施設「HUNS」で真空チャンバー内に設置した厚さ10ミリメートルの鉄の内部温度を測定した結果、10度C程度の誤差で温度分布画像を得られた。
チャンバー内のガス成分を監視する四重極形質量分析計と、チャンバー内でウエハーの温度制御に用いるガスの圧力制御を行うシステムを投入。
新製品は洗浄処理チャンバーを小型化し、1タワーに搭載可能なチャンバー数を4段から6段にした。従来品と同じ24チャンバーを搭載しながら、設置面積は従来品比約3割削減した。
同社ではこれまでに宇宙関連のプロジェクトに関わってきた経験から、自社で宇宙空間と同じような環境を再現する真空チャンバーを開発。... はやぶさ2の開発・製造には多くの企業が携わる中で、製品の試験や検査...
【キヤノンアネルバ/手のひらサイズの真空計】 キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は、半導体製造装置の真空チャンバー内などの圧力を精密測定する真空計(写...
チャンバーなしで空調効率を高め、設置面積も2・7×1・9メートルにした。
【堀場エステック/ガスの分子測定が2倍に向上】 堀場エステック(京都市南区)は、半導体製造装置などの真空チャンバー内に残留する...
有機金属系液体の気化、プラズマ化までの状態変化をチャンバー(反応容器)内で完結し、基板に薄膜形成できる。... 現状は周辺機器となる防爆仕様の液体気化供給機器からチャンバーに気化原料を...
宇宙航空研究開発機構(JAXA)の地球外物質研究グループが真空チャンバー内で使う道具は、材質がステンレスかテフロンのみに限られるなど特注仕様。
新設備を導入し従来より6割程大型の真空チャンバーを製造するほか、生産性を3割高める。... 真空チャンバーを中心に真空ポンプや関連部品を製造する。
はやぶさ2プロジェクトではクリーンルーム内のチャンバーから試料を外に出さず、窓越しに測定できる赤外分光光度計を開発して納品した。... JAXAからは小型・軽量でチャンバーの外から高感度に測定すること...
