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日本電子、処理能力35%向上した走査電子顕微鏡 (2017/3/14 機械・ロボット・航空機1)

高真空モード時の分解能は、加速電圧30キロボルトで3ナノメートル(ナノは10億分の1)にした。

岩崎電気は人工的に加速した電子線(EB)を照射し、物質の性質を変化させる電子線照射装置(EB装置)の開発を手がける。電子線は放射線の一種のため、出力を高める加速電圧が高...

日本電子、微細試料向け複合ビーム加工観察装置 (2017/1/17 機械・ロボット・航空機2)

【立川】日本電子は1キロボルトの低加速電圧で分解能1・6ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した複合ビーム加工観察装置を発売した。

加速電圧10キロボルト・電流10ナノアンぺア(ナノは10億分の1)で20ナノメートル、加速電圧10キロボルト・電流100ナノアンぺアでは50ナノメートルに高めた。

素子の観察に広く使われている通常のSEMの加速電圧を制御し、電子線の試料への侵入長をコントロールすることで、評価したい界面からの背面反射電子を検出する。

日本電子、高画質観察など容易な走査電子顕微鏡 (2016/9/14 電機・電子部品・情報・通信2)

新開発の高輝度電子銃を搭載したことなどにより、高真空モード時の分解能は、加速電圧1キロボルトで4ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した。

加速電圧60キロボルト、出力30キロワットの6軸の数値制御(NC)装置仕様にした。

日本電子、省エネモード搭載の電子顕微鏡を発売 (2016/2/1 新製品フラッシュ2)

最高加速電圧200キロボルトの電界放出形透過電子顕微鏡で、省エネモード時のエネルギー消費量を、装置使用時の約5分の1に抑えた。

ELS―HS50の加速電圧は50キロボルト。

日本電子、省エネモード搭載型電子顕微鏡−エネ消費5分の1 (2016/1/8 電機・電子部品・情報・通信2)

最高加速電圧200キロボルトの電界放出形透過電子顕微鏡で、省エネモード時のエネルギー消費量を、装置使用時の約5分の1に抑えた。... 分解能は加速電圧200キロボルトで0・19ナノメートル(ナ...

日本電子、面積30%削減の新型走査電子顕微鏡 (2015/12/1 電機・電子部品・情報・通信2)

装置を小型化しながら、分解能は加速電圧30キロボルトで3ナノメートル(ナノは10億分の1)と、同社の上位機種と同等の性能を持たせた。

今春に導入した米プリマパワー製レーザー加工機や、9月に稼働した加速電圧60キロボルトの三菱電機製電子ビーム加工機の加工実演やサンプル展示を行う。

分解能は加速電圧30キロボルトで3・5ナノメートル(ナノは10億分の1)。

分解能は加速電圧1キロボルトで1・6ナノメートル(ナノは10億分の1)、30キロボルトで1・2ナノメートルで観察できる。

日立ハイテクノロジーズ 電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)の製品ラインアップに加速電圧200キロボルトの製品「HF5000形」を追加した。

日立ハイテクノロジーズは、電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)の製品ラインアップに加速電圧200キロボルトの製品を追加し、10月に発売する。

電子加速電圧が100万ボルトの超高圧透過型電子顕微鏡で、直径約2マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の結晶を観察した。加速電圧が高く、マイクロサイズの分厚い試料をそのまま測定で...

電子銃の高性能化で、加工速度を従来機比2倍に高めたほか、加工精度を示す分解能は加速電圧30キロボルトで4ナノメートル(ナノは10億分の1、従来機は5ナノメートル)を達成。

1・2メガボルト(メガは100万)の加速電圧を備え、原子レベルの分解能で材料内部の電磁場を観察できる。... 加速電圧を高めることで電子線の波長を短くし、高圧電子顕微鏡では世界初となる...

ヘリコンプラズマと呼ばれる高周波電波で過熱したプラズマを、磁場と電極を組み合わせて加速させる方式は世界初。... このため加速方式も電極を使わない研究が主流だが、これまでの研究では十分な加速を得られて...

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