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EUVでパターン欠陥検出 レーザーテック、マスク検査装置を製品化 (2019/10/16 電機・電子部品・情報・通信2)

【横浜】レーザーテックは、半導体加工技術の極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高い感度で検出するEUV欠陥検査装置「ACTIS A150=写真」を製品化した...

技術サービス、きめ細かく/エンジニア育て顧客要望に即応 レーザーテックは、半導体マスク欠陥検査装置など主力製品の海外輸出に力を入れる。... (横浜・松崎裕)...

経営ひと言/レーザーテック・岡林理社長「需要さまざま」 (2018/10/18 電機・電子部品・情報・通信2)

「ロジックデバイスを中心に半導体マスク欠陥検査装置の売り上げは好調」と自信を見せる。

第60回十大新製品賞/日本力(にっぽんぶらんど)賞−レーザーテック (2018/2/1 電機・電子部品・情報・通信2)

【EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置「ABICS E120」】 微細な半導体の回路パターン転写を可能にする極端紫外線(EUV)を使った次世...

GaNウエハー専用の欠陥検査装置、レーザーテックが受注開始 (2017/12/7 電機・電子部品・情報・通信1)

【横浜】レーザーテックは次世代半導体ウエハーの窒化ガリウム(GaN)ウエハーに特化した欠陥検査/レビュー装置「GALOIS(ガロワ)=写真」を開発し受...

10.5世代用FPD検査システム、レーザーテックが開発 (2017/12/1 電機・電子部品・情報・通信2)

精度の高い欠陥検査技術を採用した。... 開発したのはフォトマスク欠陥検査装置「CLIOS(クリオス)G10シリーズ」と、防塵保護膜(ペリクル)検査/貼り付け...

NFT、フォトマスク検査機を量産 薄膜形成装置で欧米進出も (2017/11/3 電機・電子部品・情報・通信)

2019年をめどに、処理速度を向上した新型の「フォトマスク欠陥検査装置」の量産を始める。... フォトマスク欠陥検査装置は、半導体の回路パターンを形成する露光工程で使う。... 従来の課題だった検査ス...

レーザーテック、薄型ディスプレー用大型原版検査装置を改良 (2017/5/22 電機・電子部品・情報・通信)

【横浜】レーザーテックは、薄型ディスプレー(FPD)用大型マスクブランクス(原版)欠陥検査装置「LBIS(エルビス)」を改良し、近く投入する。... F...

半導体のマスクブランクス欠陥検査装置は世界シェア100%。... 介護入浴装置は国内約40%のトップシェアを占める。... 主力製品である入浴装置は市場が狭く、競合は2―3社程度。

【横浜】レーザーテックは極端紫外線(EUV)を使った微細な半導体パターン転写に対応した量産用EUVマスクブランクス(原版)の欠陥検査・解析装置「ABICS E1...

(バンクガード=東京都新宿区、050・5532・3771) ■レーザー光による透明ガラスの欠陥検査装置=列真(代表取締役・...

【東大阪】中央電機計器製作所(大阪市都島区、畑野淳一社長、06・6953・2366)は、スマートフォンなどのタッチパネル製造用に周辺電極配線の微細欠陥検査装置を開発...

【横浜】レボックス(相模原市中央区、鎌田英洋CEO、042・786・0371)は、精密金属の表面欠陥検査・計測装置事業に参入する。... 15年12月に発売予定の白色発光ダイオード&#...

東レエンジニアリング(東京都中央区、河村良一社長、03・3241・1541)は、ウエハー内部欠陥検査装置「インスペクトラ」で近赤外光を用いた「IRシリーズ=写真」を開発した。従...

レーザーテックは欠陥検出感度を従来比30%向上したマスクブランクス欠陥検査装置「M8350/M8351」の受注を開始した。検査光源波長を355ナノメートル(ナノは10億分の1...

レーザーテックは1960年に創業し、76年には世界で初めてLSIフォトマスク欠陥検査装置を開発。主に半導体の製造プロセスに組み込まれる検査・測定装置で業績を伸ばしてきた。... 今後はフォトマスク分野...

【横浜】レーザーテックは海外拠点で半導体ウエハー検査装置の販売を強化する。... 新規事業として開発を進めている半導体ウエハー検査装置「WASAVIシリーズ」を海外で積極的に展開していく。... 半導...

レーザーテック 20ナノメートル(ナノは10億分の1)世代以降の半導体デバイス用フォトマスクに対応するマスク欠陥検査装置「MATRICS(マトリクス)X810シ...

【横浜】レーザーテックは従来機より検査速度を大幅に向上させた高速フォトマスク欠陥検査装置「MATRICS X700 HiTシリーズ=写真」を発売した。... フォトマスク製造工...

(社名、事業内容、連携大学の順) 【産学共同研究開発プロジェクト助成補助金】▽アイ電子(麻生区)=VLF/LF波を使った地震予知のた...

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