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経営ひと言/TOTO・清田徳明社長「良いタイミング」 (2020/11/5 建設・生活・環境・エネルギー2)

10月に半導体製造装置向け部材(静電チャック)の新工場が稼働した。

半導体製造装置に使われる静電チャック用セラミックス部品など、少量多品種部品を対象とするレーザー加工事業が売上高の約9割を占める。

通信設備の基幹デバイス(LN変調器)や半導体製造装置用部品(静電チャック)などがある。

住友大阪セメが新中計 22年度売上高2650億円 (2020/5/25 建設・生活・環境・エネルギー)

新材料では半導体製造装置部品の静電チャックや電池材料などの技術力強化に取り組む。

住友大阪セメ、SiCセラ部品増産 春以降の市場回復見込む (2020/1/9 素材・医療・ヘルスケア)

SiCセラミック部品や主力製品の静電チャックなどの半導体製造装置用部品、化粧品材料などを含む新材料事業部門の現在の売上高は約120億円で、同社では2022年に同部門の売上高を200億円にすることを目指...

住友大阪セメントの通期見通し、売上高・経常益を下方修正 (2019/11/8 建設・生活・環境・エネルギー)

半導体製造装置部品の静電チャックについては、年明けから需要が本格的に回復すると見込む。

半導体製造装置部品の静電チャックについて「2020年後半から21年にかけて伸びるだろう」と話すのは、住友大阪セメント取締役常務執行役員の小西幹郎さん。

中でも半導体ウエハーを吸着固定する静電チャックと真空チャックが売り上げの2割を占める。... チャックにはウエハーを水平に保つために高い平面度と均一性が求められている。... セラミックヒーターやヒー...

半導体製造用の静電チャックの投資は一服だ》 「プラグはハイエンドに力を入れる。

クリエイティブテクノ、静電気でホコリ吸着 半導体製造向けボード (2019/3/14 電機・電子部品・情報・通信2)

パーティクルコレクターは、半導体製造装置でシリコンウエハーを吸着させる際などに使用する静電チャック技術を生かして開発した。

複合ウエハーや圧電アクチュエーターも生産能力不足から新工場を建設する」 ―5月に100周年を迎えます。 ... 半導体製造用の静電チャックは好調で投資を続ける。

TOTOファインセラ、本社工場増築 セラミックス製品増産 (2018/12/27 電機・電子部品・情報・通信)

同製品の主力である静電チャックを生産するTOTOファインセラミックス(大分県中津市)の本社・中津工場に118億円を投じて新棟を建設する。セラミックス事業の売上高は2022年度に17年度...

セラミックス事業の製品の中でも売上高構成比の半分を占める静電チャックは、半導体製造装置の内部でウエハーを固定するために使われる。

この本社第三工場は、親会社の日本特殊陶業が製造する半導体製造装置用静電チャックの後工程を担う。

半導体ウエハーを固定する「静電チャック」の製造を手がける同社が、民生品を通じ、静電気技術の横展開を狙う。... 「静電チャックは絶縁物に高電圧をかけ、放電させないように維持することで、表面の誘電分極に...

クリエイティブテクノ、中国で新工場稼働 次世代静電チャック量産 (2017/5/31 電機・電子部品・情報・通信2)

次世代静電チャックの普及を加速させるほか、BツーC向けの民生品事業を第2の柱に成長させるのが狙い。... すでに民生品の生産を始めており、次世代静電チャックは2017年末に量産する予定。... クリエ...

TOTOの通期見通し、営業益最高−中国中心に海外伸長 (2017/5/1 建設・エネルギー・生活)

セラミック事業は静電チャックがIoT(モノのインターネット)関連需要の増加で大きく伸びる。

半導体ウエハーを固定する静電チャック技術を応用し、静電気で吸着する掲示板「ESCLIP(エスクリップ)」を開発した。... 静電チャックは絶縁物に高電圧をかけ、放電させないようにするこ...

中国・広東省の工場に光通信部品「LN変調器」の新生産ラインを設け、市川事業所(千葉県市川市)では半導体製造装置部品「静電チャック」の生産設備を追加する。... 静電チャックはエッチング...

NTKセラ、18億円投じ半導体製造装置向け部品の新工場 (2016/4/15 電機・電子部品・情報・通信1)

NTKセラテックは化学気相成長(CVD)装置向けヒーターや静電チャックの製造技術を得意とする。一方、日本特殊陶業の小牧工場はエッチング装置向けヒーターと静電チャックの分野で技術ノウハウ...

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