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容器内に集光ミラーをセットし、波長13ナノ―14ナノメートル(ナノは10億分の1)の分光した光を当てれば、最大直径800ミリメートルまでのEUVリソグラフィー用集光ミラーの多層膜の反射...

(藤木信穂) 最先端の量産半導体は、ついに回路線幅が10ナノメートル(ナノは10億分の1)台に踏み込んだ。米インテルは今月、現行の...

現在、スマートフォンの心臓部のアプリケーションプロセッサーなどロジック半導体は20ナノメートル(ナノは10億分の1)世代。同時に次世代の14ナノ/16ナノメートル世代の開発が...

線幅14ナノ、16ナノメートル(ナノは10億分の1)といった次世代の微細化プロセス向けのフォトレジストの開発と品質検査のための先端装置を導入。... 14年度のロジック半導体量産品の主...

今回は回路線幅20ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の微細化技術や、ポスト微細化を見据えた3次元(3D)化技術、低消費電力技術などの最新成果が相次いだ。... 会期...

海洋研究開発機構海洋・極限環境生物圏領域の出口茂チームリーダーらは、指先ですりつぶすだけで、フラーレン(球状炭素分子)C60の粉末から直径十数ナノメートル(ナノは10億分の1&...

その上で開発した「高感度水溶性レドックス応答蛍光プローブ」と単一分子蛍光顕微鏡で、酸化チタンナノ粒子上で起こる光触媒反応の位置を10ナノメートル(ナノは10億分の1)程度の空間分解能で...

【横浜】NGR(横浜市緑区、山本昌宏社長、045・507・3330)は回路線幅20ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の微細回路でも既存装置に比べて1400倍の速さで...

また、複数企業と開発を進めている最先端の相補型金属酸化膜半導体(CMOS)技術では、回路線幅10ナノメートル(ナノは10億分の1)まで微細化を進める方針を示した。...

得られた多結晶材料の構造は二つの結晶が結合した「双晶」領域が大半を占め、その部分が平均3・8ナノメートル(ナノは10億分の1)程度の厚みしかなかった。 これまで硬度の...

これらを支えるため「2013年に回路線幅14ナノメートル(ナノは10億分の1)を達成する」方針。

位置決め精度が0・78ナノメートルのテーブルは、半導体の回路設計で14ナノメートルの線幅が求められる現在でも、十分すぎる技術。... 06年度当時は半導体の微細化で、2年後に回路設計の線幅が45ナノメ...

回路線幅が14ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の超微細化や3次元実装などで課題となる、オフ状態での漏れ電流を抑制・管理する超極浅接合層の形成を実現する。

産業技術総合研究所は2017年以降に実用化が見込まれる14ナノメートル世代立体型トランジスタ(フィンFET)の実現に向け、素子の特性がバラつく主要因を解明した。... 産総研の松川貴シ...

北陸先端科学技術大学院大学の前之園信也准教授らの研究グループは、金のナノ粒子と銀のナノ粒子の長所を併せ持つ金属ナノ粒子を合成することに成功した。... 合成した金属ナノ粒子は、直径14ナノメートル&#...

凸版印刷は、米IBMと共同で回路線幅14ナノメートル(ナノは10億分の1)に対応した半導体フォトマスク製造プロセスの共同開発契約を結んだ。... 両社は05年に45ナノメートル半導体向...

半導体や医療、ナノ材料など、企業などと連携しての実用化が期待される。 開発したGroELのナノカプセルは、直径約14ナノメートル(ナノは10億分の1)。... 今回のたんぱく質...

京都大学大学院工学研究科の長谷川博一准教授、日立製作所日立研究所の吉田博史主任研究員らは、高分子の自己組織化を利用し、10ナノメートルスケール(ナノは10億分の1)のナノパターニングが...

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