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ArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーは世界シェア首位でEUV(極端紫外線)レジストにもモノマーを供給。
16年から始めた構造改革以降、ArF液浸の開発を縮小。... ただ、ASMLはArF液浸露光装置のシェアでもニコンを上回っているとみられる。... キヤノンはKrFとi線を、ニコンはArF液浸、ArF...
i線の半導体露光装置など非先端領域が伸びているが、新たに産業技術総合研究所(産総研)からフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注するなど総じて堅調に推移しそうだ。&#...
ニコンは露光装置のラインアップとして光源にフッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、KrF、i線を使った製品をそろえている。... これまでArF液浸、ArFドライの開発に注力してい...
「構造改革後、特定の顧客に対してフッ化アルゴン(ArF)液浸を売ってきたが、現在は新しい顧客にも売り込んでいこうとしている。回路寸法としては、ArF液浸が使われるところが当社の主戦場に...
ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...
需要が増加するArF(フッ化アルゴン)レジストやEUV(極端紫外線)レジスト向けの新規材料の研究開発を推進し、高品質化の要望に対応する。
特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の装置が伸びるという。... 同社の主要顧客がいるとみられる米国では、既にi線、KrF、ArFドライの装置のほか...
フッ化アルゴン(ArF)に対応した品目を生産し、同品目の生産能力は福井工場の既存分と合わせて2・5倍となる。
波長が365ナノメートル(ナノは10億分の1)のi線から同193ナノメートルのArFまで対応し、パターン形状への影響を軽減して歩留まりを上げる。
ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり、10年頃からシェアが拡大し始めたという。... 新井工場では21年度、ArF・EUV両レジスト用のポリマ...
特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。... 渡辺哲也執行役員経営企画本部長は「ArFレジスト市場は、今後10年は伸び続...
100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端...
フッ化アルゴン(ArF)液浸露光向けに加え、半導体の微細化に伴って高まることが予想されるEUV露光向けの需要拡大に応える。
ArF(フッ化アルゴン)液浸露光向けを中心に販売は好調で、今後は5Gなどの普及で需要増加が見込まれる最先端の極端紫外線(EUV)露光向けを拡販する。
半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...
半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。
JSRは液浸フッ化アルゴン(ArF)向けフォトレジストで世界シェアトップ、最先端の極端紫外線(EUV)向けフォトレジストでも上位に位置する。... 山口上席執行役員は「...
これまでフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光向けでは使用されているものの、より高い透過率が求められるEUV露光向けでは実用化に至っていなかった。
