記事検索結果

THE研究室/東大大学院工学系研究科/中尾・濱口研究室（2011/2/2）

ナノスケールの精度で金型の加工を行う主役は収束イオンビーム(FIB)。

JST、産学イノベーション加速事業に内山教授ら29件採択（2010/9/23）

【要素技術】▽簡易操作型電気泳動チップによるバイオ分析技術の開発=大塚浩二京都大学大学院工学研究科教授▽超電導転移端センサーによる革新的硬X線分光技術の開発=大野雅史東大院工学研究科特...

京都大学の平尾一之教授、松岡智代大学院生らは、フェムト秒レーザーや集束イオンビーム(FIB)を使ってシリコン基板上に金ナノ粒子のパターンを簡易に形成することに成功した。... まずシリ...

SII・ナノテク、精度50ナノ以下のフォトマスク用修正装置発売（2008/12/12）

パターンの一部が欠落している欠陥個所を対象に、集束イオンビーム(FIB)を照射しカーボンを堆積(たいせき)させて修正。

また集束イオンビーム(FIB)で金属薄膜や有機材料の表面を加工しながら加工状態を観察できる機種もある。

エスアイアイ・ナノテクノロジー(東京都中央区、北野進社長、03・6280・0070)は、ナノメートル(ナノは10億分の1)サイズの試料を観察・加工できる集束イオンビーム...

同加工機の最大の特徴は、レーザー加工と集束イオンビーム(FIB)加工を同じ台上で行う点。マイクロレベルの加工をレーザーで、ナノレベルの仕上げをFIBでといった分担が加工物を一切動かさず...

東洋大と長野県テクノ財団、レーザー・FIB複合機を開発（2008/5/14）

大気中でFIB加工ができる新技術を使うため、対象物の大きさを問わない。... 開発した複合加工機は、ファイバー、紫外線(UV)、フェムト秒のレーザー3種と、FIBを搭載。 .....

エスアイアイ・ナノテクノロジー(東京都中央区)は半導体向け集束イオンビーム(FIB)発生装置や走査型プローブ顕微鏡を製造販売する。... 自社のFIB装置と、カールツァ...

平出精密、開放空間に真空形成するFIB加工向け装置を開発（2008/2/20）

【諏訪】平出精密(長野県岡谷市、平出正彦社長、0266・22・8866)は外気に開放された大気中で真空を作り出し、ナノレベルの集束イオンビーム(FIB)加工を行う「局所...

日本電子は集束イオンビーム(FIB)で加工しながら走査型電子顕微鏡(SEM)で観察できる複合ビーム加工観察装置「JIB―4500=写真」を発売した。... 金属...