半導体の基板上にシリコンなどの薄膜を作る化学気相成長(CVD)工程やエッチング工程などで利用される。

エッチング工程を削減でき、白金や金など高価な材料をメッキする際に有用という。

これらスピンエッチング液を太陽電池セルの作製工程でも使えないかと研究開発に取り組んでいた折り、産業技術総合研究所の「被災地企業の技術シーズ評価プログラム」に出合った。... 私たちはまず、汎用タイプの...

化学的酸化物除去処理と呼ばれるドライエッチング工程向けの需要増に対応する。 ドライエッチングはガスで基板上の薄膜に微細な溝や孔を刻んで電子回路を作る。化学的酸化物除去処理は従来のプラ...

歪みゲージ製品の前工程作業はクリーン度や恒温恒湿状態が要求される。... また、マスクレス露光装置の導入やエッチング工程の改善、形状検査の自動化といった生産方式の改良などを実施し、生産性の向上も図る。...

▽筑水キャニコム(福岡県うきは市)=爪付車輪、バランスウエートまたはダブルワイヤドラムによる姿勢制御機構、障害物センサーを有する四輪操舵(そうだ)駆動斜面専用草...

半導体製造装置向けではエッチング工程で使われる真空チャンバー用のシール材として採用を提案する。

金型設計のシミュレーションやエッチング工程などナノインプリントの前後工程も含めて受託する。

歩留まりを改善したい半導体のガス工程での採用などを見込む。... 半導体の製造では成膜やエッチング工程で複数のプロセスガスが使用されている。各工程のガス状態を正確に質量分析することで品質管理強化につな...

同製品は半導体製造での洗浄、エッチング工程で薬液の濃度を管理するための計測器。

次世代の直径450ミリメートルウエハーのエッチング用を主眼に開発した。... 技術課題の一つが、エッチング工程チャンバーのスペースが広くなり特殊ガスの吹きつけ量にムラが出ること。200ミリメートルのエ...

一般に直径2―6インチ(50ミリ―150ミリメートル)の基板上に形成され、ドライエッチング工程ではトレーに複数枚の基板を載せて一括処理する。

これにより、半導体の露光工程が簡略化され、10ナノメートル(ナノは10億分の1)以下という微細な半導体回路パターン形成の実用化に近づく。... また、機能の異なる2層の膜をエッチングす...

6月に新設した第3エッチング工程の生産効率の向上で生産量を引き上げる。... 同社は6月に本社工場内でエッチング工程と下流の組立工程を拡充し、期間従業員を中心に増員した。新設した第3エッチングラインは...

【名古屋】名古屋大学の堀勝教授らは、半導体集積回路製造のエッチング工程で使うプラズマ化したフッ素原子の密度を計測する装置「F―ラディモ=写真」を完成した。... エッチング装置に取り付けて使用...

電磁波シールドやアンテナ内蔵の樹脂成形品の製造工程で実用化すれば、製品の軽量化やコンパクト化につながる。 ... 同インクを使うメッキ処理はエッチング工程が不要で、スクリーン印刷した加飾に損傷...

【優秀賞−カンケンテクノ】 大規模集積回路(LSI)製造に欠かせない絶縁膜の化学気相成長(CVD)クリーニング工程、微細構造形成のためのエッチング工程ではパーフ...

ボトルネックとなっているエッチング工程に4億―5億円を投じて設備を増強する。... 翔栄は空きスペースのある本社工場内に第3エッチングラインを新設する。... ただ、取引先の価格引き下げ要求に応えるた...

試験ラインのエッチング工程は、六価クロムの代わりに過マンガン酸水溶液を使う。... エッチングは樹脂の表面に凹凸を作り、メッキの密着性を高める工程。... 柿原産業は最終皮膜で六価クロムの代わりに三価...

サファイアは耐プラズマ性能が高く、半導体製造工程などで採用が想定される。... 今回の12インチサファイアはダミー基板のほか、半導体のエッチング工程に使うパーツなどでの需要を見込む。