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記事検索結果
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トップダウン加工(ドライエッチング)で作った量子ドットとしては世界最小寸法だという。 光を検出するフォトルミネッセンス法により、量子ドットの発光と発光強度の温度依存性...
樹脂の構造から再設計することで、レジストマスクに求められるドライエッチング耐性を向上。... NILは基板上に塗布したUV硬化型レジストに微細な凹凸を付けた原版を押し当てて型取りし、UV照射で硬化させ...
現地の研究機関や欧米企業の生産工場などにドライエッチング装置など自社製品を拡販する。... ドライエッチング装置のほか、ドライ洗浄装置などを販売する。
サムコは半導体や電子部品の開発、製造に必要な化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置などを手がける。
化学的酸化物除去処理と呼ばれるドライエッチング工程向けの需要増に対応する。 ドライエッチングはガスで基板上の薄膜に微細な溝や孔を刻んで電子回路を作る。化学的酸化物除去処理は従来のプラ...
ドライエッチング技術を応用したのが特徴で、強化ガラスであっても高い歩留まりで切断できる。 ... そこで同社は、ドライエッチングによる切断プロセスにより、大判のまま各処理を施した上で...
【京都】サムコは炭化ケイ素(SiC)を材料とするパワー半導体用のドライエッチング装置の量産機「RIE―600iPC=写真」を15日に発売する。... SiCウエハーのエッチング...
ドライエッチング装置やメタルの化学気相成長(CVD)装置など重複領域をどうすみ分けるかなど、これから経営者の手腕が問われるが前向きな統合と見て良い。
エネルギー市場の成長とともに、化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置といった半導体製造装置の需要も伸びると判断した。
【京都】サムコは27日、炭化ケイ素(SiC)を材料とするパワー半導体用のドライエッチング装置「RIE―600iP」を12月1日に発売すると発表した。... SiCウエハーのエッチングは...
ウエットエッチングとドライエッチングを併用し、ダイヤモンド膜の密着性を向上させ、量産化が可能になった。 ... 08年には「日本ドライ加工振興会」を設立し、檜垣社長が会長に就任。ドラ...
一般に直径2―6インチ(50ミリ―150ミリメートル)の基板上に形成され、ドライエッチング工程ではトレーに複数枚の基板を載せて一括処理する。
今後、東南アジアやインドでも半導体関連産業などが立ち上がると見ており、現地の研究機関向けに化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置などを提案。
