極小の金属細線を格子状に配線するメタルメッシュセンサーは、フォトマスクを使って現像やエッチングをする「フォトリソグラフィー方式」が主流だった。

だが70年代後半には、ガラス基板上に感光剤(レジスト)を塗布し、フォトマスクを使って現像やエッチングをする「フォトリソグラフィー方式」に移る。

工業生産に適したフォトリソグラフィー法を使って、従来比100万倍のスピードで作る。... 今回、電子線リソグラフィーより生産性が高く、半導体製造で一般的なフォトリソグラフィー法を採用。最先端のフッ化ア...

フォトリソグラフィーで作製した共振器としては世界最高となる光の閉じ込め性能(Q値=2・2×10の5乗)を達成した。

従来のフォトリソグラフィー方式に比べ設備投資は半分以下に抑えられるという。... フォトリソグラフィー方式に比べ工程数やランニングコストも低減できる。

オジックテクノロジーズの精密電鋳は、半導体の回路製作でも使われているフォトリソグラフィー(露光)工程と電鋳工程からなる。

従来のフォトリソグラフィーやエッチングなどの工程が不要で、化学溶液を使わないドライ加工が可能。

従来TFT製造に必要なフォトリソグラフィー(露光装置)が不要で、製造にかかわる装置コストを100分の1程度に抑えられる。

SADPは通常のフォトリソグラフィー工程と同様に形成したレジストパターンをコアにし、その両端に二酸化ケイ素を成分とするパターンを形成。... 次世代技術の極端紫外線(EUV)リソグラフ...

同材料は感光性樹脂と銀の混合ペーストで、スクリーン印刷で塗布してからフォトリソグラフィーで配線を形成。

微細な表面パターンを成形するフォトリソグラフィーを活用することで、細胞塊を育てる穴のサイズや数などを自由に設計できる。

基礎となるのが「フォトエレクトロフォーミング」技術だ。フォトリソグラフィー(露光)と電気鋳造(電鋳)技術を組み合わせたもので、超精密加工に適している。 ...

フォトリソグラフィーに代えロボットで配線を形成する先端手法も導入。

インクジェット方式を採用しており、フォトリソグラフィー方式に比べて工程や使用液量の削減につなげた。

東レの感光性導電ペーストは微細化に適したフォトリソグラフィーで配線を形成できるため、受注が年率で倍増ペースで増加している。

露光で回路パターンを形成するフォトリソグラフィー工程の後、加熱して硬化収縮させる。 ... 従来のスクリーン印刷方式では配線の微細化が難しいことから、蒸着やフォトリソグラフィー方式へ...

スクリーン印刷はフォトリソグラフィー法に比べ最小線幅や精度に劣ると言われてきたが、技術革新が壁を打ち破ろうとしている。

これまでCMOSなどの電子回路は、フォトリソグラフィーや蒸着法などで作製するのが一般的。

次いでフォトレジスト材とパターン露光を使ったフォトリソグラフィーにより不要な部分を除去し、短冊状や星型など任意のグラフェンのパターンを基板上に残す。

とりわけ、真空成膜技術やフォトリソグラフィーを印刷技術の原理で置き換える「プリンテッドエレクトロニクス」は、省資源・省エネルギーのデバイス製造を実現すると期待されている。