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記事検索結果
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鏡面に仕上げるポリッシュ加工の省略によるコスト削減効果や、ひび割れ、ひずみなどの加工ダメージを低減できる点を訴求。... 通常ウエハーの鏡面加工は研削だけでは精度が粗く、ポリッシュ加工で仕上げるのが一...
大型研削盤などを導入し、半導体ウエハーチップの厚さを薄くする「ポリッシュ・グラインダ」やウエハー表面の凹凸を削って平坦にする「CMP」装置を増産する。
レーザーや砥石(といし)によるウエハーの切断、ポリッシュグラインダーによる薄片化、化学機械研磨(CMP)装置による平坦化など各種プロセスに対応するほか、消耗品の評価も行...
ウエハーを装置にセットして20分後くらいにポリッシュされた(磨き上げられた)ウエハーがでてきた。... 最後にポリッシュしていないウエハーを触ることにした。作業員が「ポリッシュしている...