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VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) (2022/10/4 機械・ロボット・航空機2)

【アルバック/真空装置プロセス管理】 アルバックは「ピラニ真空計SW100」を出展する。... 真空装置のプロセス管理に貢献する。 &...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(1) (2022/10/3 機械・ロボット・航空機2)

19―21日の3日間、東京都江東区の東京ビッグサイトで真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2022真空展」が開かれる。... 【佐藤真空/高真空の熱処理装置】 &#...

日本原子力研究開発機構の神谷潤一郎研究主幹と大久保成彰研究主幹は、チタンを使うことで電源不要かつ小型の超高真空装置を開発した。... 電子顕微鏡や半導体装置の小型・省電力化のほか、電源なしで真空を保つ...

竹内電機は、高周波応用装置や高真空装置など各種装置を手がける。... 同センターなどと、高周波熱プラズマを用いてチタンやシリコンなどを短時間で大量・高品質に粒子化する製造装置の開発を始めた。... 今...

半導体製造装置用などに受注が好調で関連の売り上げが21年12月期は前期比35%伸びた。... 新工場で生産する特殊ネジは半導体製造装置用。真空装置用にガス抜きの穴がついたタイプ、不純物(...

センサー素子を製造するための真空装置や露光装置、薄膜形成装置、評価装置などを新たに導入する予定だ。

第64回十大新製品賞/本賞 ダイヘン (2022/2/8 機械・ロボット・航空機1)

ダイヘンの櫛田敏和クリーンロボット事業部企画部課長は2019年、半導体製造の真空装置に組み込む新しいウエハー搬送ロボットの企画をまとめた。... 初号機は1月末に国内のイオン注入装置メーカーに納入され...

2021年 第64回十大新製品賞 (2022/1/4 十大新製品賞)

本賞 ダイヘン/真空環境用ウエハ高速搬送ロボット 「UT―VDW3000」 真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した半導体ウエハー...

VACUUM2021真空展/根強い半導体需要 薄膜形成・圧力見える化 (2021/12/2 機械・ロボット・航空機1)

太陽電池やタッチスクリーンパネルに薄膜を形成する製造装置に搭載する真空ポンプ。... 真空装置のバルブ内に粉や粒子が入り込むことを防ぐ機構により、メンテナンスサイクルを延ばす。... 特に、成膜装置な...

日刊工業新聞社は1日、「2021洗浄総合展」(日本洗浄技能開発協会、日本産業洗浄協議会と共催)、「VACUUM2021真空展」(日本真空工業会、日本表面真空学会と共催)...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(5) (2021/12/1 機械・ロボット・航空機1)

日本真空工業会の「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞製品。 ペガサスソフトウェア/真空装置やポンプ内を解析 ...

日本表面真空学会と日本真空工業会は12月3日10時10分から、東京ビッグサイト西ホール(東京都江東区)の「VACUUM2021真空展」会場内で、「規格標準報告会」を開く。半導体製造装置...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(1) (2021/11/8 機械・ロボット・航空機1)

12月1―3日の3日間、東京都江東区の東京ビッグサイトで真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2021真空展」が開かれる。... フジ・テクノロジー/バルブ内部への付着物を防...

両技術を融合し、同社が手がける真空装置の高性能化を目指す。... 真空装置ではプラズマを使ったプロセスが多く用いられているが、これまでプラズマの状態を直接測定することは難しかった。... プラズマの状...

魁半導体、プラズマ処理効果2倍の真空装置 処理時間半減 (2021/9/2 機械・ロボット・航空機2)

【京都】魁半導体(京都市下京区、田口貢士社長)は、加熱機構搭載で加工対象物(ワーク)の洗浄や表面改質といったプラズマ処理効果を同社従来品比2倍に高めた新型の真空プラズマ...

ポリ乳酸などの樹脂で作る骨再生医療の足場や、高分子で作った微細反応装置のマイクロリアクターなどに活用が期待される。 ... 装置メーカーやユーザー企業との連携で実用化を目指す。...

牧野フライス、工具参入 自社工作機械と親和性高く (2021/5/24 機械・ロボット・航空機)

第1弾として半導体製造装置や真空装置の部品加工専用の3製品を投入する。 ... まず第5世代通信(5G)や電気自動車(EV)の普及で需要が高まる、半導...

講演 火力発電所や真空用機器の高性能化に貢献する熱制御技術 宇宙の熱環境もクリア 三菱重工業 総合研究所顧問 山田明氏&...

企業信用情報/14日 (2021/1/15 総合2)

【数字の見方】 (1)業種(2)所在地(3)資本金(4)代表者(5)負債額(6)事由&...

「特に真空装置は静電気を嫌がる。... 光学機器や半導体液晶製造装置などのメーカーにサンプル提供を始めており、順調なら2021年春にも実用化される運びだ。

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