【仙台】フォトニックラティス(仙台市青葉区、川上彰二郎社長、022・726・2076)は半導体ウエハーなどの膜圧分布を測定する高速マッピングエリプソメーター「ME―210」を12月に発...

穴の深さは60マイクロ―100マイクロメートル、直径は80マイクロ―120マイクロメートルに対応しており、表面の膜圧は20マイクロメートルになる。

日立造船は有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)ディスプレー基板において、蒸着機1台で5層の有機膜を生成する実証実験を4月にも始める。複数の蒸着機で1層ずつ蒸着する従来技術に対し、成膜...

成膜技術も向上。... 東京エレクトロンはエピタキシャル層に窒素を導入するドーピング均一性や膜圧均一性が最高水準の化学気相成長(CVD)装置を開発した。

東京エレクトロンは2010年から炭化ケイ素(SiC)エピタキシャル成長膜製造装置を事業化。... SiCウエハー上に結晶膜を堆積(たいせき)成長させる化学気相成長...

同社の特許技術で、試料の合成比率や各部分の温度、膜圧の変化に一つの試料で対応できるコンビナトリアル法をスパッタ方式で行う。3台のスパッタリングガンで材料の原子を飛ばし、金属マスクの窓を移動させながら基...

サービスに使用する設備は、プラズマ装置やAFMのほか、膜圧計、表面粗さ計、走査型電子顕微鏡(SEM)、エネルギー分散型X線分析装置(EDX)など。

日立造船は成膜装置を製造する。真空に保った状態で有機材料を加熱、蒸発させて基板に成膜する仕組みで、第3世代(G3、550ミリ×650ミリメートル)基板サイズまで製品化している...

ピエゾパーツは、レンズなど光学部品のコーティングの厚みを真空蒸着装置内で測定するための水晶振動子「膜圧モニタークリスタル」の製造・販売を手がける。 ... 専門家による社内研修も実施し「部品の...

従来困難だったパターンメッキにおける膜圧分布の3次元解析を実現し、より精密な配線設計が可能になった。

ディ・アイ・エンジニアリング(東京都墨田区、山崎洋社長、03・3625・1501)は、米国の軍事技術を応用した精密膜圧測定器を発売する。容器の内側にコーティングする保護膜の厚さ測定用と...

装置には「交互吸着法」と呼ぶ成膜方法を採用。... 真空装置では困難な基板両面や曲面への加工ができ、数十ナノ―数百ナノメートル(ナノは10億分の1)までの厚さで、1ナノメートルの膜圧を...