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圧電薄膜の材料には、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いる。... PZTは厚みや特性を比較的容易に変えることができ、デバイスの小型化や性能の最適化につながる。 第一...

産総研が製造条件を変えずに直径100ミリ、150ミリ、200ミリメートルウエハーに、厚さ10マイクロメートル以下(マイクロは100万分の1)のPZT薄膜を形成できる装置を開発した。.....

その他の特性値も、既存の鉛を含む圧電セラミックス材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)に匹敵していた。 ... 鉛を含むPZTも規制対象だが、これまでは性能を満たす...

三菱マテリアルは従来の4倍の速度で成膜が可能なチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電膜用ゾルゲル液を開発した。... 圧電膜製造用のPZT系ゾルゲル液で、5年後に15億円の売り上げを目指す...

現在、電子材料としてチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)といった無機系の強誘電材料が使われているが、毒性の高い鉛を含む。

極小ミキサーは5ミリメートル角の銅に直径3ミリメートルの穴を開け、金属の回りに四つのチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電素子を張り付けた構造。

無機系の既存材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の1・3倍の圧電効果を示す。... 60層にした時の圧電効果はPZTの1・3倍。 無機系の圧電材料としてPZTが使...

主流は毒性のある鉛を使った「ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)」という材料だ。 ... 今回、研究グループは、PZTと類似した結晶構造を持つ「コバルト酸鉄酸ビスマス」という材料に着...

パナソニックの角速度センサーはシリコンを微細加工した音叉上に、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜を高精度に形成したもの。

生成膜の圧電性能は同一条件下で生成したPZT膜に比べて誘電率が2倍以上に引き上がった。... 現在、圧電材料としてPZTが普及している。... こうした状況を背景に、同社では今後、PZTの代替品として...

富士フイルムは圧電定数が250と世界最高レベルの高性能な鉛・ジルコニア・チタン(PZT)系の薄膜圧電材料を開発した。... 従来品の圧電定数は、添加剤を加えて高性能化した同社のリラクサ...

富士フイルムは長年培ってきた写真・感光材技術をベースに、ITO(酸化インジウムスズ)膜を代替する直接パターニング可能な透明導電材料や、圧電素子向けのPZT(チタン酸ジルコン酸鉛...

三菱マテリアルは15日、高機能携帯電話などに使われる薄膜キャパシター製造用のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系高誘電体ゾルゲル液を開発したと発表した。

強誘電体の代表的な材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)と類似した構造を持ちながら、毒性元素である鉛を含まない2種の酸化物ナノシートを使う。

米ジョージア工科大学のチームは、熱水分解による化学反応を使い、従来の650度Cより大幅に低い230度Cという温度で、圧電素子であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノワイヤを垂直方向に密...

微小電気機械システム(MEMS)製造に用いるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)厚膜生成装置などの研究体制を強化する。

チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)厚膜生成装置など真空装置の開発、製造、販売体制を強化する。

ユーテックが実用化した「大気溶液塗布法」は、PZT溶液を基板に塗布し、焼結することでで結晶厚膜を生成する。独自開発したPZT溶液、スピンコーター、酸素加圧焼結炉、ハイスピード分極装置を用いる。 ...

これを室温で実現するため、強誘電体のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)と、半導体で電子しか発生しない酸化亜鉛(ZnO)を組み合わせ、電極から電圧をかけて強誘電体の分極の向き...

パイリオスのラインセンサーは、シリコンウエハーに薄膜のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)フィルムを塗布することで永久的な偏光を可能にした。PZTを開発したドイツのシーメンスから特許を取得し...

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