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記事検索結果
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同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。... 同社は液浸ArFレジストで高いシェアを持つ。
ただ今の主流はあくまでフッ化アルゴン(ArF)露光用。次世代のEUV市場拡大を見据え、「ArFもEUVも両方できるよう体制を整えた」という。
同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1...
現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フッ化アルゴン(ArF)露光という。住友化学はArFレジストも増産し、EUVとArFの両方を安定供給することで競争力...
直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。.....
朝鮮半島の非核化など地域情勢を討議する12日のASEAN地域フォーラム(ARF)閣僚会議に北朝鮮は閣僚の参加を見送る方向だ。
大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プロセスとなっているフッ化アルゴン(ArF)露光向けのレジストの生産能力を増やす。
フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。同社が世界トップシェアを誇るArF用材料の供給能力を、従来比1...
研究チームは、ヒトの膵臓がん細胞と膵臓がんを再現したマウスを使い、乳がんの転移や悪性度に関連することが知られているシグナル分子「ARF6」に注目した。 その結果、KRAS変異とTP5...
■政治・経済■ ◇「空飛ぶ車」実現へ自治体が構想発表会(17時半、東京・虎ノ門ヒルズ) ■産業・企業■ ◇19年夏季賞与・一時金の大手企業妥結結果・最終集計&#...
フッ化アルゴン(ArF)光源に比べ量産中の半導体への影響は小さいが、最も高価な微細品を対象とした意味でインパクトはある。
EUVは研究開発に長い期間を要し、この間、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光技術の進化が進んだ。回路線幅7ナノ―8ナノメートル(ナノは10億分の1)まで液浸ArF露光での...
データセンター用途のKrFレジスト、EUVレジストの売り上げ拡大が見込まれるが、同社のArFレジストの市場シェアは韓国および米国の大手メモリーメーカー向けが減少中であるため、18年12月期の業績はやや...
米中のはざまでの「中心的な位置と団結」 シンガポールで先週、東南アジア諸国連合(ASEAN)の外相会議、ASEAN外相と日本、米国、中国、韓国、インドなどそ...
先端材料に加え、フッ化アルゴン(ArF)やフッ化クリプトン(KrF)フォトレジスト、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリー向け製品など汎用品も期待で...
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は最先端の液浸露光(リソグラフィー)装置向けArF(波長193ナノメート...
ArF用レジストの主な需要地は日本ではない。... 例えば、ArF液浸方式の露光装置は、50億円以上とされる。... 2016年にはArF用レジストや周辺材料の開発と検査・評価を担うクリーンルームも新...
