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常識覆す「ネオシリコン」−ナノ構造発光現象や単電子動作も（2009/9/28）

だが、微細化の鉄則にも陰りが見え始めた近年、この性能限界を突破すると期待される新材料が登場した。... 小田教授は「現在のシリコン微細回路で欠点となる量子効果を、ネオシリコンは積極的に利用する。......

半導体露光装置メーカー3社が開発を進めている回路線幅32ナノメートル(ナノは10億分の1)の次世代半導体に対応した新型露光装置の概要が明らかになった。... 32ナノメートルの微細回路...

キヤノンMJ、X線結晶解析装置国内販売権を取得（2008/12/1）

微細回路を計測するX線解析測定技術(XRD)と、厚さ1ナノメートル(ナノは10億分の1)の薄膜を計測できるX線反射率測定技術(XRR)により、シリコン・...

ピコリットル(ピコは1兆分の1)単位で微細ノズルから多様な溶液を吐出できる「パルスインジェクター(PIJ)システム」が、協和界面科学(埼玉県新座市)の理...

32ナノメートルでは、露光の光源波長が回路線幅より太くなり、微細回路を形成できない。... ウエハー大口径化と回路微細化を同時に進めると、設備稼働率の向上が問われる。 ... 微細な回路パター...

松下とルネサス、次世代半導体事業の業務提携で大筋合意（2008/1/17）

チップ上の回路線幅を30ナノメートル(ナノは10億分の1)台まで微細化した次世代半導体を共同開発するほか、松下の魚津工場(富山県魚津市)、ルネサスの那珂事業所(...