露光光源は波長436ナノメートルの可視光線「g線」から同365ナノメートルの紫外線「i線」、同248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザー」へと順に移行。

一方で、ArFドライ露光装置のほか、普及機に相当するフッ化クリプトン(KrF)やi線を光源に採用した露光装置は、受注が弱含んでいる」 ―受注低迷はメモリーの市況悪化が背景にあり...

「露光光源にi線やフッ化クリプトン(KrF)を用いた1世代前の露光装置は増産目的のため受注が減少。

ケンウッド ブルーレイディスクに採用されている「ドルビートゥルーHD」といった最新の音声フォーマットに対応したAVコントロールセンター「KRF―V9300H―S」を上旬に発売する。

また、ArF液浸露光装置が必要なのはトランジスタ配線層が30あるうち4―5層のみで、残りの25―26層は装置価格の安い一世代前のKrF(フッ化クリプトン)やArFドライ露光装置を用いる...

(中野徹二) KRFで栽培されている遺伝子組み換え作物は搾油用大豆「ラウンドアップ・レディー・大豆40―3―2系統」と、害虫に耐性がある「イールドガード・コーンボーラー・トウモ...

半導体露光装置も光源にi線やフッ化クリプトン(KrF)を採用した一世代前のタイプの受注・販売は徐々に減少している。 ASMLは07年10―12月期の露光装置販売台数50台...

露光光源の短波長化は、チップ上の回路線幅がマイクロメートルからナノメートル単位に微細化するに連れて、波長436ナノメートルのg線から同365ナノメートルのi線、同248ナノメートルのフッ化クリプトン&...

露光光源は半導体回路の微細化が進むに連れて、波長436ナノメートルの可視光線「g線」から365ナノメートルの紫外線「i線」、さらに248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシ...

そこで、テストマーケティングの着地点としては、最新のエキシマレーザーであるKrF、ArFに使えないことも考慮し、(1)既存または中古の半導体製造設備のリニューアル用途で、営業力を補完す...

同248ナノメートルのフッ化クリプトン(KrF)露光装置もスループットを向上した機種を投入する」 ―半導体の回路微細化に対応したArF露光装置の受注見通しは。