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【京都】日新イオン機器(京都市南区、長井宣夫社長、075・922・4611)は、イオンの集合体(クラスターイオン)を利用するイオン注入装置「クラリス=写真」を開...

住友重機械、半導体市況の悪化で米アクセリス買収を断念（2008/9/17）

両社によるイオン注入装置の合弁事業は継続する。

深層断面/日本企業の“米国買い”続々（2008/9/10）

両社は83年に共同出資し、イオン注入装置の製造販売会社を設立するなど提携関係にあった。

高周波スパッタリング法やイオン注入法など高価な設備を使用する従来手法と異なり、製造コストを大幅に抑えられるほか、低温で製造することができるため、製造に使用するエネルギーも節約できる。

東芝、次世代LSIの電極作製技術を開発−CMOS抵抗値30%低減（2008/6/23）

従来の電極材料にイオン注入で別の元素を打ち込んで構造を変化させ、シリコン基板との界面で起こる接触抵抗を低減する。... 今回、この熱処理前にゲルマニウムイオンを注入する工程を挟み、ニッケルシリサイドを...

イオン工学研究所、半導体解析拡充へ日本マーテックと提携（2008/6/5）

イオン工学研究所(大阪府枚方市、生西裕之社長、072・859・6611)は4日、台湾のマテリアルズ・アナリシス・テクノロジーの日本法人である日本マーテック(大阪市北区)...

住重、米の半導体製造装置メーカーに買収提案（2008/2/13）

住重とアクセリスは83年に共同出資で、半導体製造装置のイオン注入装置の製造・販売会社「SEN―SHI・アクセリスカンパニー」(SEN)を設立するなど提携関係にある。

【京都】栗田製作所(京都府宇治田原町、栗田好雄社長、0774・88・4811)は、同社従来品の体積比で約4倍の加工対象物(ワーク)にダイヤモンドライクカーボン(...