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(杉山健太郎) □■ セイコーは68年に10振動の機械式時計を完成しており、「世界最高の技術を極めていた」(マイクロメカ・ビジネスユニットムーブメント事業部時計...

最優秀賞(賞金100万円)はウシオ電機の「ArFエキシマランプの実用化による半導体製造技術開発への貢献」が、優秀賞(同50万円)はフェニックス電機の「汎用プロジェクタ用...

企業との共同研究に用いるほか、同研究所が次世代半導体の回路線幅32ナノメートル(ナノは10億分の1)プロセスをターゲットに研究を進める高感度レジストの開発に、弾みをつける。 次...

実用化に向け工具を製造する際の振動を5分の1に低減する研磨装置を製作した。... ナノサイズの微細加工には従来、半導体製造技術を応用いることが多かった。... アライドマテリアルは超精密のダイヤモンド...

(大阪・大友裕登) MEMSは半導体製造技術を用いて3次元の微小な構造をつくった部品。

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