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記事検索結果
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フィールド評価では、発信波長KrFレーザー向けで開始し、次に同ArFレーザーにも適用していく計画。
ニコンは、フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の新製品「NSR―S631E=写真」を発売した。... 先端のArF液浸では複数回に分け回路パターンを露光し、線幅を微細化する「多...
「当面は従来のフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーが主力だろうが、EUVやICを立体的に接続する3次元(3D)実装といった”次“に対応できる体制づくりも進めている。
EUVは光源の出力不足を解消できず、フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)の延命で対応してきた。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
6日に開かれるASEAN地域フォーラム(ARF)閣僚会合など一連の会議では、中国が一方的に岩礁を埋め立て、軍事拠点化を進めている南シナ海情勢が中心議題になる見通し。
5日にASEANと日本や中国など各国との個別会議、6日にASEANプラス3(日中韓)と東アジアサミットの外相会議、ASEAN地域フォーラム(ARF)閣僚会議が開かれる。...
G450Cは、450ミリメートルウエハーによる半導体製造の実用化を目指して活動しており、ニコンは2013年に先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注し、スケジュール通りに出荷し...
新工場ではフッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザーやフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー向けフォトレジストを生産する見通し。
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザーの最新モデル「GT64A...
半導体製造装置事業では、先端技術を採用した「ArF液浸装置」の顧客への導入のずれ込みなどを受けて、販売台数を想定の半分となる9台に修正。
ニコンは微細加工能力と生産性を高めたフッ化アルゴン(ArF)半導体露光装置「NSR―S322F=写真」を、12月に発売すると26日発表した。
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市)は、同社のArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けのガス消費量削減技術「eTGM」を期限付きで無償提供する。 ...
敷地内のクリーンルーム施設には50億円するとされるフッ化アルゴン(ArF)液浸方式の露光装置をはじめ、製品開発や品質検査に使う各種の先端設備がズラリと並ぶ。
従来と同じアルゴン・フッ素(ArF)液浸露光技術とレジストを用いながら、大きさのバラつきを増やさず、保護膜形成プロセスに酸化プラズマ処理を利用した。
先端装置の「ArF液浸」を手がけるのはニコンと蘭ASMLの2社のみだが、ニコンのシェアは15%(14年3月期)にとどまる。... 記憶素子(メモリー)系と演算素...
ただ既存技術を使った微細化は限界に近く、早晩、3Dのほか、EUV(極紫外線)露光やArF液浸の多重露光といった新技術が必要になる。
