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同社ではエッチング加工と比べても精度を期待できるとしており、医療機器市場での新規顧客拡大を目指す。
同社は半導体ウエハーの成膜やエッチングの際に必要なプラズマ環境をつくり出す電源装置が主力。
【名古屋】KTX(愛知県江南市、野田太一社長)は、4月に本格稼働する新工場「長崎平戸ラボラトリーズ」(長崎県平戸市)で、新たにレーザーエッチング加工...
加工対象物はプラズマ処理による表面改質で親水化や撥水化、接着性向上などの特性を向上できるほか、洗浄、殺菌、エッチングなども行え、半導体製造装置向け部品や細胞培養向け器具などで処理需要が高まっている。&...
当社の核となる製品であり、主に半導体ウエハーのエッチングや成膜工程、FPDのパネル搬送用ロボットの回転機構部等に導入され、密閉空間を外部から隔離。... また昨今では、ウエハーのエッチングプロセスでの...
同社は3月から、主にスマートフォン向けの中小型ディスプレーに使われる第6世代の基板に対応したエッチング装置を展開してきた。... エッチング装置は、装置内の化学反応室「チャンバー」で、ガラス基板上に成...
【京都】サムコは13日、窒化ガリウム(GaN)や炭化ケイ素(SiC)パワーデバイス向けなど、非シリコン材料を用いた電子デバイスのエッチング...
プラズマエッチング(薄膜の除去)やプラズマCVD(薄膜の形成)などに使う装置の販売やアフターサービスを手がける。... 次世代通信用デバイスやパワーデバイスを製造するた...
特にエッチングで使う一酸化炭素(CO)ガスは、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリーの高積層化に伴い、使用量が増加。... 成膜やエッチングに欠かせない高純度ガスは...
現在チップと配線の接合にはインジウムを使う金属エッチングなどが用いられるが、200度C前後かつ100メガパスカルの条件下で行う必要があった。
半導体製造でドライエッチングに使うとシリコンウエハーの処理能力が飛躍的に向上する。
オプトラン/スマホ向け原子層堆積装置 オプトランはスマートフォンやミニ・マイクロLED(発光ダイオード)向けの原子層堆積...
研究グループはこの現象を利用して非接触のエッチング技術を開発した。除去したい突起物に適した波長の光を照射して近接場光を発生させ、雰囲気中の分子をラジカル化して突起物を除去(エッチング)...
【記者の目/総合力使いソリューション開発】 成膜装置、塗布・現像装置、エッチング装置、洗浄装置など幅広い製品群を持つことが東京エレクトロンの強み。
センサーシフトOISの主要部材である微細なフレキシブルプリント配線板は、エッチングではなくメッキで配線を形成する高い技術が用いられており、日東電工の独壇場だ。
三菱ケミカルは製造装置の精密洗浄サービスやウエハー洗浄用高純度薬品、エッチング薬液、主要製造プロセス材料であるフォトレジスト材料のポリマーなど幅広い製品を展開。... 半導体は回路微細化や3次元化によ...
リン高純度化に独自技術 日本化学工業の半導体向け製品は、半導体製造工程のドーパント(機能向上のために混入する不純物)材料やエッチング剤の原料となる...
同工場は「成膜装置用マルチゾーン制御ステージヒータ」や「エッチング装置用溶射付冷却板」と呼ばれる、半導体製造装置に用いる部品を手がける。