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記事検索結果
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子会社のTOTOマテリア土岐工場(岐阜県土岐市)に成膜装置とハンドリング用のロボットを導入し、量産を始めた。 ... 30秒に1枚のペースで成膜できる。... 成膜技...
同社は半導体製造装置メーカーで、太陽電池成膜装置の製造販売も手がけている。今回新たな成膜方式で形成される成膜装置の開発をしている。
半導体装置メーカー各社が、世代の一つ古い200ミリメートルウエハー向け装置で新製品を投入する動きが相次いでいる。ニコンはウエハーに回路パターンを描く露光装置の新製品の開発を準備、東京エレクトロンは熱処...
同時にスウェーデンのSiCエピタキシャル成膜装置メーカーと販売代理店契約を結び、同装置の販売も開始した。... ALD装置は1サイクルで1・2オングストロームという1原子層レベルで成膜ができるのが特徴...
【CI確立】 1949年創業の栗田製作所(京都府宇治田原町)は、パルス電源やプラズマ発生装置、成膜装置などを手がけるモノづくり企業だ。... ここでようやく高周波・高...
河合氏は東京エレクトロンが世界シェアトップの熱処理成膜装置部門長や、次の成長柱と位置付ける洗浄装置部門長などを歴任した。
【静岡】エイディーディー(静岡県沼津市、下田一喜社長、055・943・6371)は、新規事業として、2016年にダイヤモンド厚膜合成(コーティング)など成膜受託事業を本...
【山口】山口大学大学院理工学研究科の諸橋信一教授は独自開発のスパッタ(成膜)装置を使って、基板を加熱することなく低抵抗率・高透過率の「インジウム・スズ酸化膜(ITO)透...
隔膜真空計は半導体製造で使う成膜装置向けで、測定範囲が限られるが精度が高い。... アルバックは真空装置向け電源をブース正面に展示した。... 真空チャンバーの内部は通常見られないため、フィルムの成膜...
消耗品である測定子の交換頻度を少なくできるため、真空装置の稼働率向上につながる。... また、ドライ真空ポンプの消費電力を削減できる補助装置「エコ―ショックES4A」を8月に発売した。既存製品「ES1...
【光学薄膜向け蒸着装置紹介−オプトラン】 オプトラン(埼玉県川越市、049・239・3381)は「オプトナノテクノロジーによる光学薄膜成膜のプロセスソリューション提供...
自社開発のイオン源によるイオンアシスト蒸着装置「EPDシリーズ」や、同社独自のスパッタプロセスによるロードロック式スパッタ装置「RASシリーズ」などを披露する。 ... 今回は「開発...
神戸製鋼所は自動車部品や工具などの表面に特殊な炭素膜をコーティングできる装置を4月下旬に発売する。ダイヤモンドの結晶構造に近い「テトラヘデラル・アモルファス・カーボン(ta―C)膜&#...
神戸製鋼所は自動車部品や工具などの表面に特殊な炭素膜をコーティングできる装置を4月下旬に発売する。ダイヤモンドの結晶構造に近い「テトラヘデラル・アモルファス・カーボン(ta―C)膜&#...
【千葉】ロック技研工業(千葉県八街市、岩永淳一社長、043・440・1781)は、電気抵抗が数十オーム級の透明導電膜をロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルムに真空成膜する装置を完成した...
スパッタロールコータは、プラスチックフィルムにスパッタリング法で酸化インジウムスズ(ITO)などの透明導電膜や光学膜などを形成する装置。... 成膜ゾーンを開放できる独自の設計思想を取...
成膜速度が1分当たり膜厚200ナノ―400ナノメートル(ナノは10億分の1)と、代表的な成膜技術であるスパッタリングの約20倍。... 大手真空装置メーカーが成膜装置を販売し、2022...
