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記事検索結果
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EUV露光装置はニコンとキヤノンも開発を進めているが、ASMLが先行することになりそうだ。 ASMLはEUV光源に米サイマー製のレーザー生成プラズマ(LPP)を採用する。......
ASMLはウエハーステージに露光と計測を同時に行う方式を採用。... ニコンとASMLはウエハーステージの計測方法を変える。
オランダのASMLは、09年4月をめどに日本での半導体露光装置の販売を直接販売に切り替える。... 日立ハイテクは09年3月をめどにASML製の半導体露光装置販売を終える。... ASMLは日本以外で...
2回露光(ダブルパターニング)と呼ばれる製造技術を採用した機種で、オランダのASMLが09年1―3月期に初号期を出荷、ニコンも09年10―12月期に出荷する。... ASMLは09年1...
ニューフレアテクノロジー(横浜市港北区、045・471・1982)はオランダのASMLの子会社、米ブライオンテクノロジーズ(カリフォルニア州)と、回路線幅32ナノメート...
オランダのASMLは半導体回路をウエハーに焼き付ける半導体露光装置の大手専業メーカー。... ASMLのアントニオ・メスキーダ市場調査部長に露光装置の受注見通しなどを聞いた。
IMECはオランダのASMLが製造したEUV露光装置「アルファデモツール」で研究開発を推進。... さらに、IMECではアルファデモツールで得た研究開発データを基に、ASMLから量産対応機に近いプリプ...
オランダのASMLは次世代半導体の製造方法として開発を進めてきた「高屈折率溶媒を用いた液浸露光」の研究開発を事実上断念した。チップ上の回路線幅30ナノメートル(ナノは10億分の1)台の...
【フェルトホーフェン(オランダ)=安久井建市】オランダのASMLは、露光装置の新プラットフォーム「ツインスキャンNXT」を開発した。
【フェルトホーフェン=安久井建市】ASMLは、08年7―9月期の露光装置(新品のみ)の受注台数が前年同期比48・6%減の18台(前年同期35台)になった...
オランダのASMLは本社内に建設していた新工場棟を稼働したほか、ニコンは09年末に二つの新工場棟を稼働する。... ASMLの新工場棟建設は第3期工事まで計画があり、このうち第1期工事が完了し稼働を開...
半導体製造装置の受注・販売台数が前年に比べて4割前後も落ち込む中で、オランダのASML、ニコン、キヤノンの露光装置3社は08年にArF液浸の販売台数を増やす見通し。... (安久井建市)...
エルピーダでは8月末までに、ASMLとニコンのArF液浸露光装置の技術評価を終える予定。... エルピーダは当初、ASMLとキヤノンからArF液浸の提供を受けて技術評価を実施していた。だが、ニコンの装...
オランダのASMLはフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にした半導体用の液浸露光装置「TWINSCAN XT1950i」を開発した。
オランダのASML、ニコン、キヤノンの露光装置メーカー3社は32ナノメートルプロセスに向けた研究開発を、露光を2回実施する「ダブルパターニング」、純水より屈折率の高い溶媒を介して解像度を高める「高屈折...
オランダのASML、ニコン、キヤノンの露光装置メーカー3社は、32ナノメートル以降の先端プロセスでは、研究開発の方向性として三つの露光方法に的を絞っている。
現在稼働しているオランダのASML製のArF液浸露光装置「1700i」1台に加えて、相模原事業場(神奈川県相模原市)からASML製の液浸露光装置1台を移設、直径300ミリメートルウエハ...
半導体露光装置を事業化するのはキヤノンとニコン、オランダのASMLの3社。... ASMLは、3月末に研究開発の継続可否を決めると公表していたのを「(レンズ材料など)条件が整ってから決...
3社の07年の販売台数はASMLが235台、キヤノンが179台、ニコンが150台(07年度146台)だった。... ASMLは08年第1四半期(1―3月)の受注実績が1...
