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トランジスタ同士をつなぐ銅配線は、アルミニウム配線と比べて伝導率が高い(伝導抵抗が少ない)ため、高速駆動、低消費電力などの特徴を出せる。 ... だが、アルミニウム配線では、先...

07年秋にUMCと銅配線/低誘電率膜(Cu/Low―k)などの共同開発に合意した。

銅配線(Cu)/低誘電率膜(Low―k)技術を用いた先端DRAMとPRAMを開発してきた。

ArF材料以外に、塗布型ハードマスク材料や低誘電率の層間絶縁膜なども製造できる多機能な工場を建設するという。

【名古屋】豊田通商は12日、アドマテックス(愛知県三好町)、太陽化学と共同で、低誘電性の二酸化ケイ素(SiO2)「アドマポーラス」を開発したと発表した。... 空気を内...

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