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記事検索結果
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研究開発助成には坂東隆宏豊橋技術科学大学助教の「先進的成膜手法によるSiC層を用いた高耐久性ダイヤモンドコート工具の製作」などを、国際交流助成には「表面、コーティング、界面に関する環太平洋シンポジウム...
アークイオンプレーティング装置は物理気相成長(PVD)の一種で、金属やセラミックス製の工具、金型などに成膜して機能性や生産効率などを向上できる。 AlCrNはアルミ含...
【明電ナノプロセス・イノベーション/基板にダメージ与えず】 明電ナノプロセス・イノベーション(東京都品川区)は、独自の高濃度・高純度オゾン発生技術を用いたバ...
【日立造船/2機能一体、成膜技術】 日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール(RtoR)成膜装置(イメージ)...
大型の成膜スパッタ装置を使い、従来比約500倍の5平方メートルの膜を一度につくれる。... ただ、一度に成膜できる面積が100平方センチメートルで、生産効率の向上が求められていた。 ...
開発した透明に近いDLC膜を、既存の黒色のDLC膜上に成膜して重ねた。そこへ光を当てると、透明のDLC膜表面で反射する光と、透過して下の黒いDLC膜表面で反射する光に分かれて、互いに干渉し合う「薄膜干...
立方晶窒化ホウ素(CBN)を多く含んだ母材に、新開発のコーティングを成膜。... ここに耐摩耗性に優れた窒化チタンアルミニウム(TiAlN)を主成分とする層と、チップ母...
【日本電子/高機能光学薄膜向け提案】 日本電子は高機能光学薄膜の成膜に最適な電子銃・電源、プラズマソースを出展する。電子ビームボンバード間接加熱法を利用...
【セルバック/低温成膜強み プラズマCVD装置】 セルバック(京都市南区)は、メモリーやロジック半導体デバイスの絶縁膜...
プラズマ生成機構を搭載したことで低温成膜を実現。... 一般的なCVDより微細かつ均一に成膜できる。... 従来の熱ALD装置より低温での成膜が可能で、温度に敏感な膜材料にも適応する。
豊富なラインアップを持つ油回転ポンプのほか、熱処理、成膜、含浸、脱泡など特注装置の設計・製作が可能。
特に被膜硬度と耐熱性を備えた独自技術の「EV―X」は窒化チタンアルミニウム系被膜を可能にし、薄板から厚板まで多種類の型へ成膜実績(写真)がある。
自社設備による各種金属成膜はじめフォトリソプロセス、エッチング、検査などの一貫生産により「短納期・低コストの供給が可能」(江利川社長)としている。
同技術を採用した新装置(消費税込みで590万円)と成膜原料溶液を月内に発売し、年7000万円の売り上げを見込む。 ... 気化原料は同じチャンバー内でプラズマ化し、プ...
今後は次世代半導体向けの成膜材料、3次元実装など新しいプロセス技術に対応したレジスト材料などが求められる。
「炭素膜のDLCによる表面処理は耐摩耗性向上や摩擦抵抗低減に効果を発揮する。特に『NEO VCコーティング』というDLC処理技術では硬さで12ギガ―70ギガパスカル(ギガは10億...
ナノサイズ(ナノは10億分の1)のダイヤモンドをガラス上に成膜し、外からコイルで磁場を変化させて応答を測る。 ... ナノダイヤモンド膜を半導体などに成膜して精密計測...
