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魁半導体、プラズマ処理効果2倍の真空装置 処理時間半減 (2021/9/2 機械・ロボット・航空機2)

温度と密度で性質が異なり、このコントロールで物質表面を改質し、親水化や接着強化、洗浄、エッチングなどの効果を高める。 &#...

三菱ケミ、半導体材の開発・生産強化 福岡に試作棟 (2021/8/26 素材・医療・ヘルスケア2)

三菱ケミカルは、洗浄剤やエッチング材料などの半導体材料の開発・生産体制を強化する。... 福岡事業所にエッチング用薬液や洗浄剤などの幅広い高機能薬品に対応する試作棟を建設し、2022年5月に稼働する。...

活性金属ろう材と銅の複合材を回路上にプレス加工するため、現行工法のパターニングやエッチングが不要となる。このため高放熱のヒートシンクで要求される既存工法のエッチングでは困難なセラミックスへの厚い銅材へ...

【プロセス簡略化】 またHDI向けでは、保護材を使わずに、エッチング加工のみで回路形成できる銅箔を提案する。銅の結晶構造をそろえることで、エッチング時の溶解方向を一定に制御。

ガスによるドライエッチングで微小共振器を形成し、薬液を使って結晶面の3次元形状を作る異方性ウェットエッチングで側壁の平たん性と垂直性を向上した。

タグレス印刷はエッチングを施した印刷版にインキを塗り、シリコン製パッドを用いて多様な形状の素材に転写するパッド印刷を応用した技術。

【用途は多種多様】 高純度ガスの用途は半導体の成膜材料やエッチング工程、洗浄工程と多種多様だ。同社は大手の一角で、エッチングを中心に約20種類を扱う製品群の幅広さを特徴とする。......

量産化に向けてニチコンの電極箔開発におけるエッチング技術や、KISCOの形状加工、接着材などの知見を融合することでグラファイトシートの2倍程度の価格を目指す。

(梶原洵子、前田健斗) 【受給タイト】 昭和電工は2021―22年にマザープラントの川崎事業所(川崎市川崎区)で、需給状況がタイトな...

ニチコン、アルミ電解コンデンサー 150℃対応で2000時間保証 (2021/6/18 電機・電子部品・情報・通信)

ニチコンが得意とするエッチング加工技術で陽極箔の表面積を拡大し、静電容量を同社従来品比5割増やした。

銅製のシード層と比べて、配線の表面や側面を平滑にエッチングできる。

同製品は、半導体製造の洗浄やエッチング工程に幅広く使われており、原料を含めた供給能力の確保が重要だ。

半導体装置主要5社、研究開発費13%増 最先端領域に軸足 (2021/6/7 電機・電子部品・情報・通信)

微細化の実現に向けては露光装置が最重要視されるが、同社は成膜、塗布・現像、エッチング、洗浄の各装置を駆使。... その上で同社が最も注力しているとみられる分野が、ウエハー表面に焼き付けた回路に沿って不...

日立ハイテク、米オレゴン州に顧客協創拠点を設立 (2021/6/2 電機・電子部品・情報・通信1)

既存拠点では主に、半導体製造装置の一種である「エッチング装置」の開発を手がけてきた。

模様を凹形状に加工するエッチングと違い、凸形状に加工する独自技術「メターテック」を採用。

三菱ガス化学、EL薬品20%増産 半導体市場拡大に対応 (2021/4/5 素材・医療・ヘルスケア)

世界で高いシェアを持つ半導体パッケージ用基板材料のBT積層板や、洗浄やエッチング工程で使われる超純過酸化水素の生産体制強化も計画通り進んでいる。

成膜装置、ガスケミカルエッチング装置といった半導体製造装置のほか、半導体回路の微細化に重要な「パターニング技術」などの開発も行う。

【無損傷加工】 産業技術総合研究所(産総研)では、従来のプラズマエッチング法の代わりに、東北大学の寒川誠二教授が開発した中性粒子ビームエッチング技術をマイクロLEDの...

微細化が進む先端半導体で求められる高性能な露光・微細加工、成膜、アニール(焼き鈍し)、エッチング、洗浄などの技術のうち、新規開発や性能向上が必要な製造・プロセス技術を開発する。

Dプロセス、LT複合基板を一貫生産 生産能力5割増 (2021/3/24 電機・電子部品・情報・通信1)

常温ウエハー接合装置を2台追加し計5台体制とするほか、基板の表面を高精度にエッチングするイオンビームトリミング装置も2台導入する。

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