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アーク放電式のマグネトロンスパッタリングにより、緻密で平滑な成膜が可能。... 半導体製造装置における耐摩耗性・耐プラズマ性などの機能膜の成膜ニーズに応える。... 機能膜の成膜装置では神戸製鋼所やア...

この課題に対し、米クロミスはGaN成膜時の反りを抑制できる独自材料「QST基板」を解決策として提案している。... 子会社を通じてGaN成膜を施したウエハーの製造販売も行い、将来は12インチ化を見据え...

ADEKA、韓で半導体材料増産 DRAM向け (2022/7/26 素材・医療・ヘルスケア2)

ADEKAは半導体の成膜工程に使う高誘電材料「アデカオルセラ」シリーズを韓国で増産する。

酸化ガリウム単結晶基板の製造・加工用設備、検査設備のほか、ウエハー上に酸化ガリウムをエピタキシャル成長させる成膜装置を追加導入する。22年度中に複数枚のウエハーを同時に成膜できる新たな装置を開発予定で...

微量の材料をノズルから噴射しながら基板上に成膜し、ペロブスカイト太陽電池を製作する。... 材料を滴下した基板を回転させて成膜する。

成膜装置や帯電した原子や分子(イオン)注入機、洗浄装置など裏面工程の装置を増設する。

その一方で、より大きなセル面積では均一な膜形成が難しく大きく特性が低下する傾向にあるほか、フィルム上への成膜も難しかった。

昭和電工、北米で半導体用高純度ガス 韓国SKと生産検討 (2022/6/30 素材・医療・ヘルスケア2)

昭和電工は半導体用エッチングガスで世界トップシェア、SKはクリーニングガスや成膜ガスで世界トップシェアを持つ。... 両社は2017年に半導体用高純度ガスを製造販売する合弁会社のSK昭和電工を設立し、...

東ソーは1―2年以内にシリコン基板へ窒化ガリウム(GaN)を成膜するスパッタリングターゲット材の市場投入を目指す。... (素材・医療・ヘルスケアに関連記事) ...

成膜装置も自社で開発した。

3次元NAND型フラッシュメモリーでは記憶素子を垂直方向に積み重ねる積層化が進展し「エッチングや成膜技術の向上が必要になる」(同)という。

パウダーテック、新磁性複合材を開発 機能損なわず磁性付与 (2022/6/14 素材・医療・ヘルスケア2)

フェライトの磁性を生かしながら屈曲性を持たせた複合材料で、用途に応じて基材へ成膜できる。... 開発した磁性複合材料は、同社の培ってきた成膜技術を生かして成膜に適した粉を配合。基材や用途に応じたフェラ...

同社は塗布現像装置で約9割、一部の成膜装置で約5割、エッチング装置で約3割の世界シェアをそれぞれ握る。

半導体関連の世界的な需要増に対応し、半導体成膜工程で使われる治具部品などの生産を拡大する。

電荷が偏り、正と負に分極している有機分子を真空蒸着して成膜した。分極の向きをそろえて有機分子を並べると膜として表面電位を持つ。... 正負の表面電位膜を集積することで、振動発電を効率化できると見込まれ...

信越化学工業は2019年に米Qromis(カリフォルニア州)と高品質で反りが小さいGaN成膜ができる基板材料のライセンス契約を締結。

エッチングや成膜などのパターニング工程は技術革新が続き、今後も市場成長が期待できるとして、技術開発や評価体制を拡充する。

氷を載せる支持膜が必要だが、膜厚が薄いほど信号を遮るノイズを抑制できる。 ... 顧客拡大を目的に、現在は同支持膜の割引キャンペーンを展開中。... 今春には本社を置くインキュベーシ...

東京大学の長藤圭介准教授らは約15万円の中国製ロボットアーム2台で粉体成膜の実験を自動化した。... 3万2768通りの実験条件の中からAI技術のベイズ最適化で絞り込み、40回の実験で成膜条件を見つけ...

高密度に蒸着可能な複合化合物膜の技術を高速蒸着技術に適用することで、一般的なスパッタ法に比べて成膜速度が100倍超に向上し、コストを5分の1以下に抑えた。... また、従来の蒸着技術は成膜速度に優れ低...

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