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プラズマの発光スペクトルの状態を監視・制御する光学式プロセスモニター「オプティウス=写真」は、エッチングでのエンドポイント測定、化学気相成長(CVD)でのクリーニング初期化確認...

京都大学化学研究所の山子茂教授、茅原栄一特定助教らは、高輝度光科学研究センターなどと共同で、六つの炭素原子で構成されるベンゼン環がつながってボール状となる、新しい3次元炭素ナノ構造体の合成に成功した。...

化学気相成長(CVD)コーティング材種「CA5シリーズ」に2品種を追加し、切りくずを切断するブレーカーを1品種増やし、11月中旬に発売する。

ツールドインターナショナル(東京都世田谷区、大藪誠社長、03・3427・7937)は、化学気相成長(CVD)法による合成で硬度を高めたオーストリアのチロツール(...

まずプラズマ化学気相成長(CVD)装置で300度Cでアセチレンガスを加熱しダイヤモンドライクカーボン(DLC)に変え、その後真空炉で1600度Cで加熱してOLCを生産す...

太陽誘電の子会社である太陽化学工業(群馬県高崎市、小川等社長、027・346・3737)は、マイクロ流体チップ向けに細胞や微生物などの付着を防止する成膜技術を開発した。... 基材表面...

安定成長を目指すには規模拡大での経営基盤強化が不可欠だ。 ... ただ半導体メーカーが寡占化し、業界の成長率が鈍化する中で製造装置業界でもM&Aが進み、それぞれの工程で1位か...

【神戸】インキュベーション・アライアンス(神戸市兵庫区、村松一生社長、078・651・1332)は、炭素繊維の全表面にグラフェン(シート状の炭素材料)を成長させた「グラ...

新しい化学気相成長(CVD)コーティングもチップに施し、優れた仕上げ面と長い工具寿命を実現。

同社は研究成果を応用し化学気相成長(CVD)装置などを開発。

【サポイン事業採択/カーボン薄膜太陽電池用プロセスの確立とそのプラズマCVD装置の作製】 神港精機は、2009年度、10年度に戦略的基盤技術高度化支援事業の採択を受けて、マ...

【神戸】神港精機(神戸市西区、眞下忠社長、078・991・3011)は、カーボン薄膜太陽電池などの研究開発向けに、マイクロ波表面波プラズマを利用した化学気相成長(CVD)...

グラフェンシートを作る際に使う化学気相成長(CVD)などの手法に比べて簡易で圧倒的に安価だ。

化学気相成長(CVD)に対し、製造時間が短縮し、また汎用装置で製造できる。

化学気相成長(CVD)でサファイア基板上にグラフェンが10層程度積み重なった多層グラフェンを合成し、酸化膜付きシリコン基板に転写して一般的な半導体プロセスで配線化した。 ...

エネルギー市場の成長とともに、化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置といった半導体製造装置の需要も伸びると判断した。

辻理社長に今後の成長戦略を聞いた。 ... こうした製品向けの半導体製造などに、当社のドライエッチング装置や化学気相成長(CVD)装置を提案する」 ...

超硬母材に新開発の化学気相成長(CVD)コーティングを採用。

同装置は化学気相成長(CVD)を採用したロールコータ(ロール・ツー・ロール成膜装置)で、有機EL素子部を保護するハイバリアー膜をフィルム基板上に成膜する。

【京都】島津製作所は結晶シリコン型太陽電池セルの長寿命化、高効率化につながるプラズマ化学気相成長(CVD)反射防止膜成膜装置「MCXS」を4月1日に発売する。

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