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ロール部分を密閉構造とし、アルゴンや窒素を入れて不活性化する。

アルゴンや酸素などのガスをイオン化して基材に照射し、コーティング層を除く。

特に溶接難易度が高いチタンやアルミはアルゴン溶接(ティグ溶接)で施工する。

魁半導体、ガスを使わずプラズマ照射できるペン型装置を開発 (2016/6/2 電機・電子部品・情報・通信1)

従来は発生したプラズマを対象物まで届かせるために、窒素やアルゴンなどのガスによる吹き付けが必要だった。

エア・ウォーター、神鋼にオンサイトガス供給 (2016/5/26 素材・ヘルスケア・環境)

1時間当たり製造能力は酸素3万立方メートル、窒素4万立方メートル、アルゴン1000立方メートル。

酸素の除去にはアルゴンガスなどを使うが、手間やコストがかかる。

チタンの酸化を防ぐにはアルゴンガスを使うが、「モヤモヤと漂わせるのがこつ」(同)。

先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン&...

キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発が順調にいかず、露光装置業界でオランダのASML、ニコンの後塵(こうじん)を拝してきた。

既存のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置で2回必要になる処理が1回で済む。

キヤノン、半導体露光装置事業に転機−ナノインプリントで逆襲 (2016/3/18 電機・電子部品・情報・通信1)

キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の開発につまずき、オランダのASML、ニコンとの競争にさえ加われない状況が続いた。

最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸フォトリソグラフィーを使い、プロセスを工夫するなどして、30センチメートルシリコンウエハーの全面に光ナノ共振器を高い精度で作製した。 ...

JFEスチールは西日本製鉄所倉敷地区にASU6基と関連設備を持ち、酸素や窒素、アルゴンを製造・消費してきた。

島津、データ解析効率化したプラズマ質量分析計を開発 (2016/3/8 機械・ロボット・航空機2)

ICP―MSは、誘導結合によって生成される約1万度Cのアルゴンガスのプラズマを利用し、液体試料中の元素をイオン化して質量分析する。... アルゴン消費量は従来海外他社製品比で年70万―280万円の削減...

ニコン、回路線幅7ナノメートル対応のArF液浸露光装置 (2016/2/23 電機・電子部品・情報・通信2)

ニコンは、フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の新製品「NSR―S631E=写真」を発売した。

「当面は従来のフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーが主力だろうが、EUVやICを立体的に接続する3次元(3D)実装といった”次“に対応できる体制づくりも進めている。

LIXIL、高断熱性窓を開発−18年度、売上高100億円目指す (2016/1/4 建設・エネルギー・生活)

複層ガラスには、Low―Eガラスを採用し、熱伝導率が低いアルゴンガスや樹脂スペーサーも用いている。

新日鉄住金は八幡製鉄所にASU5基と関連設備を持ち、酸素や窒素、アルゴンを製造・消費してきた。... 17年に新設するASUの生産能力は酸素が毎時3万5000ノルマル立方メートル、窒素が同5万ノルマル...

3Dは1980年の設立で、テキサス州中央テキサス地区の7拠点で酸素や窒素、アルゴン、アセチレンなどを扱う地区最大手。

サクラクレパス、プラズマ処理評価ツールに18アイテム追加 (2015/11/26 電機・電子部品・情報・通信2)

新たに加えるアイテムは、ガス別では酸素ガス、アルゴンガスなど使用ガスの中から適するものをそろえる。

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