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京西テクノス、半導体に本格参入 少量生産関連を買収 （2024/3/1 総合１）
一方、TCKはウエハーパターンの寸法計測に使うミニマルファブ用電子顕微鏡の製品化を進めているほか、半導体製造装置の設計・開発を手がける。
東レエンジ、電子顕微鏡で2ナノ半導体検査 組み込み型10倍速装置投入へ （2023/8/8 機械・ロボット・航空機２）
東レエンジニアリングでは現在、電子顕微鏡を用いた電子線式半導体ウエハーパターン検査装置「NGR」を製品化し、研究開発段階でフォトマスクの調整などに採用されている。
東レエンジ、半導体ウエハー検査装置 回路線幅ナノ級対応 （2022/3/4 機械・ロボット・航空機）
東レエンジニアリング(東京都中央区、岩出卓社長)は3日、電子線式半導体ウエハーパターン検査装置の新製品を4月に発売すると発表した。
