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ローツェ、九州拡充ウエハー搬送特注対応（2022/7/14 機械・ロボット・航空機１）

ストッカーやEFEM(エクイップ・フロント・エンド・モジュール)といった半導体ウエハー搬送システムの組み立て能力を増強する。... システム組み立て能力は単純計算で約2倍に増強するとい...

第63回十大新製品賞・喜びの声（2021/1/27 十大新製品賞）

プレシジョン・システム・サイエンス社長田島秀二氏「PCRの現場に貢献」遺伝子解析業界に足を踏み入れて以来、世界一小さく、正確で操作しやすいシステムを開発するため、社員一同...

日立ハイテクノロジーズ、5nm世代向け半導体計測装置測長再現精度20%向上（2019/12/17 電機・電子部品・情報・通信２）

計測精度のほか、ウエハー上に形成された半導体の微細な回路パターンの寸法を計測するスピードを速めた。電子線スキャンシステムやウエハー搬送システムの機能を向上し、1時間当たりの処理枚数を同20%増...

ローツェ、ベトナム工場増強半導体搬送装置2.6倍に（2017/10/30 機械・ロボット・航空機１）

【福山】ローツェはウエハー搬送システムを手がけるベトナム製造子会社の工場を増強する。... 半導体ウエハーの前工程を担う搬送装置の生産能力はシステム製品で現状比2・6倍に高まる見込み。... 新設する...

ダイヘン、ウエハー搬送システムを発売−スループット300枚（2014/7/24）

ダイヘンは半導体製造装置内にウエハーを送り出す搬送システム(EFEM)「オヒューカス」を発売した。ダイヘン初のEFEMシステムとなる。... ソフトウエアも搬送シーケンスの自動生成機能...