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今回完成したクリーン搬送システム工場FAB3(第3工場)は2階建てで床面積約1万48平方メートル。これによりクリーン搬送システム工場の床面積は全体で2万3379平方メートルとなり、開設...

ローツェ、ベトナム新工場完成 搬送ロボ増産 (2022/9/9 機械・ロボット・航空機)

【福山】ローツェは8日、ベトナムで建設していた半導体ウエハー搬送ロボットの新工場が完成したと発表した。新工場により、アーム型ロボットなど単体製品の生産能力は2倍に増強する。

真空環境用ウエハ搬送ロボット UT-VDW3000 世界的に半導体不足が生じる中、半導体製造装置の高速化対応が求められている。ダイヘンが...

第52回機械工業デザイン賞IDEA、栄誉に輝く19製品 (2022/7/20 機械工業デザイン賞)

日本ロボット工業会賞 ダイヘン 真空環境用ウエハ搬送ロボット UT-VDW3000 半導体製造の真空環境下で使う。ウエハ...

ローツェ、九州拡充 ウエハー搬送特注対応 (2022/7/14 機械・ロボット・航空機1)

ストッカーやEFEM(エクイップ・フロント・エンド・モジュール)といった半導体ウエハー搬送システムの組み立て能力を増強する。... ローツェは、ウエハー搬送ロボットなど単体製品の生産は...

ロードポートに加え、ウエハー搬送ロボットを組み合わせた複合モジュール「EFEM」などの半導体関連機器も強化する。 ... 25年度にクリーン搬送機器の生産能力(額)を...

第64回十大新製品賞/本賞 ダイヘン (2022/2/8 機械・ロボット・航空機1)

【真空環境用ウエハ高速搬送ロボット「UT-VDW3000」】 「真空環境下で世界最速レベルの搬送を実現する」―。ダイヘンの櫛田敏和クリーンロボッ...

2021年 第64回十大新製品賞 (2022/1/4 十大新製品賞)

本賞 ダイヘン/真空環境用ウエハ高速搬送ロボット 「UT―VDW3000」 真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した半導体ウエハー...

ダイヘンは真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した半導体ウエハー搬送ロボット「UT―VDW3000」を開発、受注を始めた。... 真空下では吸引式でウエハーを把持できず、ロボ...

アテルは広島県福山市に本社を置く半導体ウエハー搬送ロボットメーカー。... また同社の商品群は、搬送ロボットや振り分け装置(ソーター)といった単体製品と、これらを組...

ローツェ、18億円投じベトナム増強 半導体搬送ロボ新工場 (2021/8/4 機械・ロボット・航空機1)

【福山】ローツェは3日、ベトナムで半導体ウエハー搬送ロボットを増産すると発表した。... 新工場には、搬送ロボやウエハーの位置合わせをするアライナーなど単体製品の生産を集約し能力を倍増。... 同社は...

第63回十大新製品賞/本賞 安川電機 (2021/2/12 機械・航空機)

【半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR−GEKKO MD124D】ギアレスで超低振動に 半導体ウエハー搬送ロボット「SEMISTAR−GEKKO...

中国向け好調、事業規模拡大 半導体ウエハー搬送ロボットの有力メーカー、ローツェ。... いくつかロボットメーカーがあり、半導体分野に出てこようとしている。

切り粉搬送能力を毎時0.53立方メートルと2倍にし清掃の負担も低減した。 ... 【安川電機/半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR―GEKK...

EV・5G向けで商機 広島県福山市近郊には半導体ウエハー搬送ロボットの有力メーカーがいくつか存在する。... 今はアテル(広島県福山市、084・971・7...

JEL、半導体搬送ロボ工場新設 生産能力倍増 (2018/11/30 機械・航空機1)

【福山】ジェーイーエル(JEL、広島県福山市、崎谷信夫社長、084・952・5590)は、福山市佐波町の現本社を解体し、半導体ウエハーの搬送用ロボット生産工場を新設する。... 工場の...

また同日、半導体ウエハー搬送ロボットメーカーの米ジェンマーク(カリフォルニア州)の買収も発表。半導体製造に利用されるロボットの事業拡大を図る。... 省エネ家電向けのほか、電気自動車&...

エリオニクス、高精度描画装置を発売 4nm以下の加工対応 (2018/2/13 機械・ロボット・航空機)

試料の自動搬送機能はシングルカセットを標準搭載。... また、ウエハー搬送ロボット付きローダーを接続することで、人の手を介さずに露光後加熱(PEB)や現像機能といったウエハー描画の後工...

日本ロボット工業会が27日発表した1―3月期の産業用ロボット出荷実績(会員33社分のみ)は、前年同期比26・7%増の4万6952台となり四半期の過去最高を更新した。... 半導...

ウエハー搬送ロボットでトップシェアの川崎重工業は生産能力を6割程度高める。... ウエハー搬送用で5割近くのシェアを誇る川重は、増産のため半導体向けロボットの製造を明石工場(兵庫県明石市...

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