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2021年 第64回十大新製品賞 (2022/1/4 十大新製品賞)

アーム駆動にスチールベルトを採用しバックラッシュ(がたつき)要素をなくし、軌跡精度とウエハー位置決め精度も向上した。 ...

また、アームの駆動を樹脂製タイミングベルトから溝のない金属製ベルトに変更し、バックラッシュ(がたつき)要素をなくした。

これにより、ギアのバックラッシュ(がたつき)などを解消し、回転軸の高精度化と高剛性の両立も実現した。

ローラーに予圧をかけることで歯が隙間なくかみ合うためバックラッシュ(がたつき)がなく、高剛性、高精度で金属部品を加工できる。

スピーディオのコントローラーで直接動作できる機能、バックラッシュ(がたつき)を防ぎ高速・高精度・長寿命で治具の偏荷重などの影響も受けにくいローラーギアカム構造は従来品から引き継いだ。&...

自社独自の技術により熱処理加工のバックラッシュ(がたつき)の発生を抑え、樹脂で難しかった精度を実現した。

同社独自の熱処理や加工技術で、バックラッシュ(がたつき)の発生が数マイクロメートル程度(マイクロは100万分の1)と、樹脂では難しかった精度を実現。

同システムはバックラッシュ(がたつき)がないダイレクト工具径計測機構を搭載。

部品バックラッシュ(がたつき)を抑制した独自のメカ式マイクロポンプとコンパクト機構で、精密制御を可能にした。

「このためギアのバックラッシュ(がたつき)影響を回避するプログラムを独自に組んだ」(田中敬専務)。

バックラッシュ(がたつき)がなく高精度で、サーボモーターに付けて回転速度を落とすとともにトルクを増幅する。

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