CVD―SiC部材は微細化が進む半導体のプラズマエッチング加工装置の中でウエハーを支える治具「リング」に使われるほか、パワーデバイスや高周波デバイス向け材料として需要が急増。

東京エレクトロンはフラット・パネル・ディスプレー(FPD)向けプラズマエッチング装置「インプレッシオ2400PICP Pro=写真」の受注...

プラズマエッチング(薄膜の除去)やプラズマCVD(薄膜の形成)などに使う装置の販売やアフターサービスを手がける。... 日本法人のプラズマ・サーモ・ジャパン(横...

【無損傷加工】 産業技術総合研究所(産総研)では、従来のプラズマエッチング法の代わりに、東北大学の寒川誠二教授が開発した中性粒子ビームエッチング技術をマイクロLEDの...

住友大阪セメントはSiCセラミック部品としてプラズマエッチング装置のシャワープレートやフォーカスリング、プラズマ化学気相成長(CVD)装置や熱CVD装置のサセプターなどを製造する。

半導体製造装置の一種であるプラズマエッチング装置の内部部品への皮膜の開発を進めている。プラズマで部品が傷つくのを防ぐため、より耐久性が高い溶射技術の実用化を目指す。

同社で開発・生産するのは、今後の市場成長が特に見込まれる、ウエハー上に形成した薄膜を微細加工するエッチング装置だ。... 「11年に完成したプラズマエッチング装置の主力拠点で、開発・設計から生産までを...

同社が開発したのは、プラズマエッチングを用いた非接触加工装置。

CVD―SiC部材は、微細化が進む半導体のプラズマエッチング加工装置の中で、ウエハーを支える治具「リング」に使われるほか、パワーデバイスや高周波デバイス向け材料として需要が急増している。

すでに発売している同方式のプラズマエッチング装置と合わせ、初年度3億―5億円、3年後に年10億―15億円、薬品は初年度5000万円、3年後に年3億円の販売を見込む。

【プラズマ腐食】 半導体デバイスの主要製造プロセスの一つにプラズマエッチングがある。... ところがエッチング装置内の部材も必然的にプラズマによって腐食され、短期間で損耗するものも多...

半導体製造装置の一つであるプラズマエッチング装置にAI搭載型R―INを搭載し、プラズマ発光の状態を監視したところ、異常の検知率が6倍向上した。

微細化が進む半導体のプラズマエッチング加工装置の中で、ウエハーを支える治具「リング」の需要増に応える。... 耐プラズマ性の高いSiC部材を供給し、より高機能な加工装置を手がけるメーカーのニーズを取り...

ニチアスはプラズマ方式の半導体・液晶装置向けに、耐久性を高めた特殊フッ素ゴム製シール材(写真)を開発した。... プラズマCVD装置向け「ブレイザーOリング―FC」と、プラズマエッチン...

化学的酸化物除去処理と呼ばれるドライエッチング工程向けの需要増に対応する。 ドライエッチングはガスで基板上の薄膜に微細な溝や孔を刻んで電子回路を作る。化学的酸化物除去処理は従来のプラ...

【水戸】三友製作所(茨城県常陸太田市、加藤木克也社長、0294・72・2245)は、半導体の故障解析に用いる卓上型のプラズマエッチング装置「TP―50B=写真」を4月下旬に発売...

【水戸】三友製作所(茨城県常陸太田市、加藤木克也社長、0294・72・2245)は、局所的にエッチング加工できる「マイクロプラズマ技術」と加工後のかすを少なくできる「吸引プラズマ技術」...

デモルームには走査型電子顕微鏡(SEM)と走査透過型電子顕微鏡(STEM)を備え、自社製品で高精度位置決めを行うナノマニピュレーションステージ、局所で無残さ加工が可能な...

共同チームが開発したのは、計算科学に基づく新しい化学反応を用いたエッチング技術。プラズマが発する高エネルギーイオンと紫外線の照射量を大幅に抑制し、低温かつ低損傷で微細加工ができる寒川教授が開発した中性...

自身の研究分野であるプラズマエッチング技術に富士機械の電子部品実装技術や画像処理技術をうまく融合させた点や、チャレンジ性の高さが評価された。