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[ 科学技術・大学 ]
(2016/9/1 05:00)
【プラズマ腐食】
半導体デバイスの主要製造プロセスの一つにプラズマエッチングがある。シリコンウエハーなどを腐食性ガスのプラズマにさらして、溝や穴などの微細加工...
(残り:1,083文字/本文:1,163文字)
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半導体デバイスの主要製造プロセスの一つにプラズマエッチングがある。シリコンウエハーなどを腐食性ガスのプラズマにさらして、溝や穴などの微細加工...
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