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単結晶に近い窒化アルミ、ステンレスに成膜 ユーパテンターが装置開発 （2023/11/21 中小・ベンチャー・中小政策）
半導体研究向け拡販 【千葉】ユーパテンター(千葉県船橋市、本多祐二社長)は、山口県産業技術センターと、単結晶に近い窒化アルミニウム(AlN)を、ステン...
